Makinë prerëse teli diamanti me karbid silici, përpunim i shufrave SiC 4/6/8/12 inç

Përshkrim i shkurtër:

Makina prerëse e telit të diamantit me karabit të silicit është një lloj pajisjeje përpunimi me precizion të lartë e dedikuar për prerjen e lingotave të karabit të silicit (SiC), duke përdorur teknologjinë e sharrës me tela diamanti, përmes telit të diamantit që lëviz me shpejtësi të lartë (diametri i linjës 0.1~0.3 mm) në prerjen me shumë tela të lingotave SiC, për të arritur përgatitje të pllakës së trashë me precizion të lartë dhe me dëmtime të ulëta. Pajisja përdoret gjerësisht në përpunimin e substratit të gjysmëpërçuesve të fuqisë SiC (MOSFET/SBD), pajisjeve të frekuencës radio (GaN-on-SiC) dhe pajisjeve optoelektronike, është një pajisje kyçe në zinxhirin e industrisë SiC.

Na dërgoni email

Karakteristikat

Parimi i punës:

1. Fiksimi i lingotës: Lingota SiC (4H/6H-SiC) fiksohet në platformën e prerjes përmes pajisjes për të siguruar saktësinë e pozicionit (±0.02 mm).

2. Lëvizja e vijës së diamantit: vija e diamantit (grimcat e diamantit të elektrolizuara në sipërfaqe) vihet në lëvizje nga sistemi i rrotave udhëzuese për qarkullim me shpejtësi të lartë (shpejtësia e vijës 10~30m/s).

3. Prerja e ushqimit: shufra ushqehet përgjatë drejtimit të caktuar dhe vija e diamantit pritet njëkohësisht me vija të shumëfishta paralele (100~500 vija) për të formuar napolitane të shumëfishta.

4. Ftohja dhe heqja e copave: Spërkatni ftohës (ujë të dejonizuar + aditivë) në zonën e prerjes për të zvogëluar dëmtimin nga nxehtësia dhe për të hequr copat.

Parametrat kryesorë:

1. Shpejtësia e prerjes: 0.2~1.0 mm/min (në varësi të drejtimit të kristalit dhe trashësisë së SiC).

2. Tensioni i linjës: 20~50N (shumë i lartë, linja është e lehtë për t'u thyer, shumë e ulët ndikon në saktësinë e prerjes).

3. Trashësia e pllakës: standarde 350~500μm, pllaka mund të arrijë 100μm.

Karakteristikat kryesore:

(1) Saktësia e prerjes
Toleranca e trashësisë: ±5μm (@vafer 350μm), më e mirë se prerja konvencionale e llaçit (±20μm).

Vrazhdësia e sipërfaqes: Ra <0.5μm (nuk kërkohet bluarje shtesë për të zvogëluar sasinë e përpunimit të mëvonshëm).

Deformimi: <10μm (zvogëlon vështirësinë e lustrimit të mëvonshëm).

(2) Efikasiteti i përpunimit
Prerje me shumë vija: prerja e 100~500 copëve në të njëjtën kohë, duke rritur kapacitetin e prodhimit 3~5 herë (kundrejt prerjes me një vijë të vetme).

Jetëgjatësia e linjës: Linja e diamantit mund të presë 100~300 km SiC (në varësi të fortësisë së shufrës dhe optimizimit të procesit).

(3) Përpunim me dëme të ulëta
Thyerja e skajit: <15μm (prerja tradicionale >50μm), përmirëson rendimentin e napolitanës.

Shtresa e dëmtimit nën sipërfaqe: <5μm (zvogëlon heqjen e lustrimit).

(4) Mbrojtja e mjedisit dhe ekonomia
Pa ndotje të llaçit: Kosto të reduktuara të asgjësimit të lëngjeve të mbeturinave krahasuar me prerjen e llaçit.

Shfrytëzimi i materialit: Humbje nga prerja <100μm/prerës, duke kursyer lëndë të para SiC.

Efekti i prerjes:

1. Cilësia e pllakës: pa çarje makroskopike në sipërfaqe, pak defekte mikroskopike (zgjerim i kontrollueshëm i zhvendosjes). Mund të hyjë direkt në lidhjen e ashpër të lustrimit, duke shkurtuar rrjedhën e procesit.

2. Konsistenca: devijimi i trashësisë së napolit në seri është <±3%, i përshtatshëm për prodhim të automatizuar.

3. Zbatueshmëria: Mbështet prerjen e shufrave 4H/6H-SiC, në përputhje me llojin përçues/gjysmë të izoluar.

Specifikimet teknike:

Specifikimi	Detajet
Përmasat (Gj × Gje × Lartësi)	2500x2300x2500 ose personalizoni
Diapazoni i madhësisë së materialit të përpunimit	4, 6, 8, 10, 12 inç karabit silikoni
Vrazhdësia e sipërfaqes	Ra≤0.3u
Shpejtësia mesatare e prerjes	0.3 mm/min
Pesha	5.5t
Hapat e vendosjes së procesit të prerjes	≤30 hapa
Zhurma e pajisjeve	≤80 dB
Tensioni i telit të çelikut	0~110N (tensioni i telit 0.25 është 45N)
Shpejtësia e telit të çelikut	0~30m/S
Fuqia totale	50kw
Diametri i telit të diamantit	≥0.18 mm
Fund i sheshtë	≤0.05 mm
Shkalla e prerjes dhe thyerjes	≤1% (përveç arsyeve njerëzore, materialit të silikonit, linjës, mirëmbajtjes dhe arsyeve të tjera)

Shërbimet XKH:

XKH ofron të gjithë shërbimin e procesit të makinës së prerjes së telit të diamantit me karbit të silikonit, duke përfshirë përzgjedhjen e pajisjeve (përputhja e diametrit të telit/shpejtësisë së telit), zhvillimin e procesit (optimizimi i parametrave të prerjes), furnizimin me materiale konsumuese (tela diamanti, rrota udhëzuese) dhe mbështetjen pas shitjes (mirëmbajtja e pajisjeve, analiza e cilësisë së prerjes), për të ndihmuar klientët të arrijnë prodhim masiv të pllakave SiC me rendiment të lartë (>95%), me kosto të ulët. Gjithashtu ofron përmirësime të personalizuara (si prerja ultra e hollë, ngarkimi dhe shkarkimi automatik) me një kohë përgatitjeje prej 4-8 javësh.