Dia300x1.0mmt Trashësi e pllakës së safirit C-Plane SSP/DSP
Prezantimi i kutisë së vaferit
Materiale kristalore | 99,999% e Al2O3, Pastërti e Lartë, Monokristalin, Al2O3 | |||
Cilësi kristali | Përfshirjet, shenjat në blloqe, binjakët, ngjyra, mikroflluskat dhe qendrat e shpërndarjes nuk ekzistojnë. | |||
Diametri | 2 inç | 3 inç | 4 inç | 6 inç ~ 12 inç |
50.8± 0.1 mm | 76.2±0.2 mm | 100±0.3 mm | Në përputhje me dispozitat e prodhimit standard | |
Trashësia | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Mund të personalizohet nga klienti |
Orientimi | Plani C (0001) në planin M (1-100) ose planin A (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, plani R (1-1 0 2), plani A (1 1-2 0), plani M (1-1 0 0), çdo orientim, çdo kënd | |||
Gjatësia kryesore e sheshtë | 16.0±1 mm | 22.0±1.0 mm | 32.5±1.5 mm | Në përputhje me dispozitat e prodhimit standard |
Orientimi kryesor i sheshtë | Plani A (1 1-2 0) ± 0.2° | |||
TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
HARK | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Warp | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Sipërfaqja e përparme | Epi-I lëmuar (Ra< 0.2nm) |
*Harku: Devijimi i pikës qendrore të sipërfaqes mesatare të një nape të lirë dhe të palidhur nga plani i referencës, ku plani i referencës përcaktohet nga tre këndet e një trekëndëshi barabrinjës.
*Deformimi: Diferenca midis distancave maksimale dhe minimale të sipërfaqes mesatare të një pllake të lirë dhe të palidhur nga plani i referencës i përcaktuar më sipër.
Produkte dhe shërbime me cilësi të lartë për pajisjet gjysmëpërçuese të gjeneratës së ardhshme dhe rritjen epitaksiale:
Shkallë e lartë e sheshtësisë (TTV, hark, mbështjellës etj. i kontrolluar)
Pastrim me cilësi të lartë (kontaminim i ulët i grimcave, kontaminim i ulët i metaleve)
Shpimi, bërja e kanaleve, prerja dhe lustrimi i sipërfaqes së pasme të substratit
Bashkëngjitja e të dhënave të tilla si pastërtia dhe forma e substratit (opsionale)
Nëse keni nevojë për substrate safiri, ju lutemi të na kontaktoni:
postë:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Do të kthehemi tek ju sa më shpejt të jetë e mundur!
Diagram i detajuar

