Skenë me ajër SiC me precizion ultra të lartë

Imazh i paraqitur i skenës me ajër SiC me precizion ultra të lartë

Përshkrim i shkurtër:

Me evolucionin e vazhdueshëm të industrisë së gjysmëpërçuesve, pajisjet e përpunimit dhe inspektimit kërkojnë performancë gjithnjë e më të lartë. Duke u bazuar në ekspertizën e gjerë në kontrollin e lëvizjes dhe pozicionimin në nivel nanometri, ne kemi zhvilluar një skenë ajrore me dy boshte planare të tipit H dhe precizion ultra të lartë.

Na dërgoni email

Karakteristikat

Diagram i detajuar

Përmbledhje

E projektuar me një strukturë qeramike të karbidit të silicit (SiC) të optimizuar për elementë të fundëm dhe teknologji të mbajtëses së ajrit të kompensuar, skena ofron saktësi, ngurtësi dhe përgjigje dinamike të jashtëzakonshme. Është ideale për:

Përpunimi dhe inspektimi i gjysmëpërçuesve
Fabrikim mikro/nano dhe metrologji
Prerje dhe lustrim me mizë në shkallë nanometri
Skanim me precizion të lartë

Karakteristikat kryesore

Udhëzues për mbajtëse ajri SiCpër ngurtësi dhe precizion ultra të lartë
Dinamikë e lartëshpejtësi deri në 1 m/s, nxitim deri në 4 g, vendosje e shpejtë
Boshti Y i gantry-t me dy transmisionesiguron kapacitet të lartë ngarkese dhe stabilitet
Opsionet e koduesit: rrjetë optike ose interferometër lazer
Saktësia e pozicionimit: ±0.15 μm;përsëritshmëri: ±75 nm
Drejtim i optimizuar i kabllovepër dizajn të pastër dhe besueshmëri afatgjatë
Konfigurime të personalizueshmepër nevojat specifike të aplikacionit

Dizajn me precizion ultra të lartë dhe arkitekturë pa kontakt me drejtim direkt

Kornizë qeramike SiC~5× ngurtësia e lidhjes së aluminit dhe ~5× zgjerim termik më i ulët, duke siguruar stabilitet me shpejtësi të lartë dhe qëndrueshmëri termike.
Kushineta e kompensuar me ajërDizajni i patentuar rrit ngurtësinë, kapacitetin e ngarkesës dhe stabilitetin e lëvizjes.
Performanca DinamikeMbështet shpejtësi 1 m/s dhe përshpejtim 4 g, ideale për procese me rendiment të lartë.
Integrim i përsosurI pajtueshëm me sistemet e izolimit të dridhjeve, fazat rrotulluese, modulet e pjerrësisë dhe platformat e trajtimit të pllakave të pllakave.
Menaxhimi i KabllitRrezja e kontrolluar e lakimit minimizon stresin për jetëgjatësi më të madhe të shërbimit.

Motor linear pa bërthamëLëvizje e lëmuar me forcë zero ingranazhesh.
Transmetim me shumë motorëVendosja e motorit në planin e ngarkesës përmirëson drejtësinë, sheshtësinë dhe saktësinë këndore.
Izolim termikMotorët janë të izoluar nga struktura e skenës; ftohje opsionale me ajër ose ujë për cikle me punë të lartë.

Specifikimet

Model	400-400	500-500	600-600
Akset	X (skanim) / Y (hap)	X (skanim) / Y (hap)	X (skanim) / Y (hap)
Udhëtim (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Saktësia (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Përsëritshmëria (nm)	±75	±100	±100
Rezolucioni (nm)	0.3	0.3	0.3
Shpejtësia maksimale (m/s)	1	1	1
Përshpejtimi (g)	4	4	4
Drejtësia (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Stabiliteti (nm)	±5	±5	±5
Ngarkesa maksimale (kg)	20	20	20
Lëvizje/Rrotullim/Lëvizje (hark-sek)	±1	±1	±1

Kushtet e Testimit:

Furnizimi me ajër: i pastër, i thatë; pika e vesës ≤ 0°F; filtrimi i grimcave ≤ 0.25 μm; ose 99.99% azot.
Saktësia e matur 25 mm mbi qendrën e skenës në 20±1 °C, 40–60% RH.

Aplikacionet

Litografia gjysmëpërçuese, inspektimi dhe trajtimi i pllakave
Fabrikim mikro/nano dhe metrologji precize
Prodhim optike të nivelit të lartë dhe interferometri
Hapësira ajrore dhe kërkime të avancuara shkencore

Pyetje të Shpeshta – Faza me Mbajtëse Ajri prej Karbidi Silikoni

1. Çfarë është një fazë që mban ajër?

Një skenë me ajër përdor një film të hollë ajri të presionuar midis skenës dhe kanalit udhëzues për të siguruarlëvizje pa fërkime, pa konsumim dhe ultra e lëmuarNdryshe nga kushinetat mekanike konvencionale, ajo eliminon rrëshqitjen, ofron saktësi në nivelin e nanometrit dhe mbështet besueshmërinë afatgjatë.

2. Pse përdoret karabiti i silikonit (SiC) për strukturën e skenës?

Ngurtësi e lartë: ~5× ajo e lidhjes së aluminit, duke minimizuar deformimin gjatë lëvizjes dinamike.
Zgjerim i ulët termik: ~5 herë më e ulët se alumini, duke ruajtur saktësinë nën ndryshimet e temperaturës.
I lehtëDendësi më e ulët krahasuar me çelikun, duke mundësuar funksionim me shpejtësi të lartë dhe përshpejtim të lartë.
Stabilitet i shkëlqyerAmortizim dhe ngurtësi superiore për pozicionim me precizion ultra të lartë.

3. A kërkon skena lubrifikim apo mirëmbajtje?

Nuk nevojitet lubrifikim tradicional pasi që ekzistonasnjë kontakt mekanikMirëmbajtja e rekomanduar përfshin:

Furnizimajër i kompresuar i pastër dhe i thatë ose azot
Inspektim periodik i filtrave dhe tharëseve
Monitorimi i kabllove dhe sistemeve të ftohjes

4. Cilat janë kërkesat për furnizim me ajër?

Pika e vesës: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Filtrimi i grimcave: ≤ 0.25 μm
Ajër i pastër dhe i thatë ose 99.99% azot i pastër
Presion i qëndrueshëm me luhatje minimale

Rreth Nesh

XKH specializohet në zhvillimin, prodhimin dhe shitjen e teknologjisë së lartë të qelqit optik special dhe materialeve të reja kristalore. Produktet tona i shërbejnë elektronikës optike, elektronikës së konsumit dhe ushtrisë. Ne ofrojmë komponentë optikë safir, mbulesa lentesh për telefona celularë, qeramikë, LT, SIC karabit silikoni, kuarc dhe pllaka kristali gjysmëpërçuese. Me ekspertizë të kualifikuar dhe pajisje të përparuara, ne shkëlqejmë në përpunimin e produkteve jo standarde, duke synuar të jemi një ndërmarrje kryesore e teknologjisë së lartë të materialeve optoelektronike.