Varkë me pllaka karbidi silikoni (SiC)

Imazh i paraqitur i varkës së pllakës së karbit të silikonit (SiC)

Përshkrim i shkurtër:

Varka e pllakës prej karbidi silici (SiC) është një bartës procesi gjysmëpërçues i bërë nga material SiC me pastërti të lartë, i projektuar për të mbajtur dhe transportuar pllakëza gjatë proceseve kritike me temperaturë të lartë, siç janë epitaksi, oksidimi, difuzioni dhe pjekjeja.

Na dërgoni email

Karakteristikat

Diagram i detajuar

Përmbledhje e Qelqit të Kuarcit

Me zhvillimin e shpejtë të gjysmëpërçuesve të fuqisë dhe pajisjeve me gjerësi të gjerë brezash, anijet konvencionale të kuarcit përballen me kufizime të tilla si deformimi në temperatura të larta, ndotja e rëndë e grimcave dhe jetëgjatësia e shkurtër e shërbimit. Anijet prej pllake SiC, të cilat karakterizohen nga stabilitet termik superior, ndotje e ulët dhe jetëgjatësi e zgjatur, po zëvendësojnë gjithnjë e më shumë anijet e kuarcit dhe po bëhen zgjedhja e preferuar në prodhimin e pajisjeve SiC.

Karakteristikat kryesore

1. Përparësitë materiale

Prodhuar nga SiC me pastërti të lartë mefortësi dhe forcë e lartë.
Pika e shkrirjes mbi 2700°C, shumë më e lartë se kuarci, duke siguruar stabilitet afatgjatë në mjedise ekstreme.

2. Vetitë termike

Përçueshmëri e lartë termike për transferim të shpejtë dhe uniform të nxehtësisë, duke minimizuar stresin e pllakave të pllakës.
Koeficienti i zgjerimit termik (CTE) përputhet ngushtë me substratet SiC, duke zvogëluar përkuljen dhe plasaritjen e pllakave të drurit.

3. Stabiliteti Kimik

I qëndrueshëm në temperatura të larta dhe atmosfera të ndryshme (H₂, N₂, Ar, NH₃, etj.).
Rezistencë e shkëlqyer ndaj oksidimit, duke parandaluar dekompozimin dhe gjenerimin e grimcave.

4. Performanca e procesit

Sipërfaqja e lëmuar dhe e dendur zvogëlon derdhjen e grimcave dhe ndotjen.
Ruan stabilitetin dimensional dhe kapacitetin e ngarkesës pas përdorimit afatgjatë.

5. Efikasiteti i kostos

Jetëgjatësi shërbimi 3-5 herë më e gjatë se varkat me kuarc.
Frekuencë më e ulët mirëmbajtjeje, duke zvogëluar kohën e ndërprerjes dhe kostot e zëvendësimit.

Aplikacionet

Epitaksi SiCMbështetja e substrateve SiC 4 inç, 6 inç dhe 8 inç gjatë rritjes epitaksiale në temperaturë të lartë.
Prodhimi i Pajisjeve të EnergjisëIdeale për MOSFET-et SiC, Diodat Barrierë Schottky (SBD), IGBT-të dhe pajisje të tjera.
Trajtim termikProceset e pjekjes, nitridimit dhe karbonizimit.
Oksidimi dhe DifuzioniPlatformë mbështetëse e qëndrueshme e pllakave për oksidim dhe difuzion në temperaturë të lartë.

Specifikimet Teknike

Artikull	Specifikimi
Materiali	Karbid silikoni me pastërti të lartë (SiC)
Madhësia e pllakës	4 inç / 6 inç / 8 inç (i personalizueshëm)
Temperatura Maksimale e Operimit.	≤ 1800°C
Zgjerimi termik CTE	4.2 × 10⁻⁶ /K (afër substratit SiC)
Përçueshmëria termike	120–200 W/m·K
Vrazhdësia e Sipërfaqes	Ra < 0.2 μm
Paralelizëm	±0.1 mm
Jeta e shërbimit	≥ 3 herë më të gjata se varkat me kuarc

Krahasim: Varkë kuarci kundrejt varkës SiC

Dimension	Varkë kuarci	Varkë SiC
Rezistenca ndaj temperaturës	≤ 1200°C, deformim në temperaturë të lartë.	≤ 1800°C, termikisht i qëndrueshëm
Përputhja CTE me SiC	Mospërputhje e madhe, rreziku i stresit të pllakës së plastikës	Përputhje e ngushtë, zvogëlon plasaritjen e pllakave të pllakës
Ndotja e grimcave	I lartë, gjeneron papastërti	Sipërfaqe e ulët, e lëmuar dhe e dendur
Jeta e shërbimit	Zëvendësim i shkurtër dhe i shpeshtë	Jetëgjatësi e gjatë, 3–5 herë më e gjatë
Procesi i përshtatshëm	Epitaksi konvencionale e Si	Optimizuar për epitaksi SiC dhe pajisje energjie

Pyetje të Shpeshta – Varka me Pllaka të Karbitit të Silicit (SiC)

1. Çfarë është një varkë me pllaka SiC?

Një varkë prej pllakash SiC është një bartës procesi gjysmëpërçues i bërë nga karbit silici me pastërti të lartë. Përdoret për të mbajtur dhe transportuar pllaka gjatë proceseve me temperaturë të lartë, siç janë epitaksi, oksidimi, difuzioni dhe kalitja. Krahasuar me varkat tradicionale të kuarcit, varkat prej pllakash SiC ofrojnë stabilitet termik superior, ndotje më të ulët dhe jetëgjatësi më të madhe shërbimi.

2. Pse të zgjidhni varkat prej dërrasash SiC në vend të varkave prej kuarci?

Rezistencë ndaj temperaturave më të lartaI qëndrueshëm deri në 1800°C kundrejt kuarcit (≤1200°C).
Përputhje më e mirë CTEAfër substrateve SiC, duke minimizuar stresin e pllakave dhe plasaritjen.
Gjenerimi më i ulët i grimcaveSipërfaqja e lëmuar dhe e dendur zvogëlon ndotjen.
Jetëgjatësi më e gjatë: 3–5 herë më gjatë se varkat me kuarc, duke ulur koston e pronësisë.

3. Çfarë madhësish pllakash mund të mbështesin anijet me pllaka SiC?

Ne ofrojmë dizajne standarde për4 inç, 6 inç dhe 8 inçnapolitane, me personalizim të plotë në dispozicion për të përmbushur nevojat e klientëve.

4. Në cilat procese përdoren zakonisht varkat prej dërrasash SiC?

Rritja epitaksiale e SiC
Prodhimi i pajisjeve gjysmëpërçuese të fuqisë (SiC MOSFET, SBD, IGBT)
Pjekja, nitridimi dhe karbonizimi në temperaturë të lartë
Proceset e oksidimit dhe difuzionit

Rreth Nesh

XKH specializohet në zhvillimin, prodhimin dhe shitjen e teknologjisë së lartë të qelqit optik special dhe materialeve të reja kristalore. Produktet tona i shërbejnë elektronikës optike, elektronikës së konsumit dhe ushtrisë. Ne ofrojmë komponentë optikë safir, mbulesa lentesh për telefona celularë, qeramikë, LT, SIC karabit silikoni, kuarc dhe pllaka kristali gjysmëpërçuese. Me ekspertizë të kualifikuar dhe pajisje të përparuara, ne shkëlqejmë në përpunimin e produkteve jo standarde, duke synuar të jemi një ndërmarrje kryesore e teknologjisë së lartë të materialeve optoelektronike.