Tub horizontal furre prej karbidi silikoni (SiC)

Imazh i paraqitur i tubit horizontal të furrës prej karbidi silikoni (SiC)

Përshkrim i shkurtër:

Tubi horizontal i furrës prej karbidi silikoni (SiC) shërben si dhoma kryesore e procesit dhe kufiri i presionit për reaksionet e fazës së gazit në temperaturë të lartë dhe trajtimet termike të përdorura në prodhimin e gjysmëpërçuesve, prodhimin fotovoltaik dhe përpunimin e materialeve të përparuara.

Na dërgoni email

Karakteristikat

Diagram i detajuar

Pozicionimi i Produktit dhe Propozimi i Vlerës

I projektuar me një strukturë SiC të prodhuar me aditivë të kombinuar me një shtresë mbrojtëse të dendur CVD-SiC, ky tub ofron përçueshmëri termike të jashtëzakonshme, ndotje minimale, integritet të fortë mekanik dhe rezistencë të jashtëzakonshme kimike.
Dizajni i tij siguron uniformitet superior të temperaturës, intervale të zgjatura shërbimi dhe funksionim të qëndrueshëm afatgjatë.

Avantazhet kryesore

Rrit qëndrueshmërinë e temperaturës së sistemit, pastërtinë dhe efektivitetin e përgjithshëm të pajisjeve (OEE).
Zvogëlon kohën e ndërprerjes së punës për pastrim dhe zgjat ciklet e zëvendësimit, duke ulur koston totale të pronësisë (TCO).
Ofron një dhomë jetëgjatë të aftë për të trajtuar kimikate oksidative në temperaturë të lartë dhe të pasura me klor me rrezik minimal.

Atmosferat e Zbatueshme dhe Dritarja e Procesit

Gaze reaktiveoksigjen (O₂) dhe përzierje të tjera oksiduese
Gazrat bartës/mbrojtës: azot (N₂) dhe gazra inerte ultra të pastra
Speciet e pajtueshme: gjurmë gazrash që përmbajnë klor (përqendrimi dhe koha e qëndrimit të kontrolluara nga receta)

Proceset tipike: oksidim i thatë/i lagësht, kalitje, difuzion, depozitim LPCVD/CVD, aktivizim sipërfaqësor, pasivizim fotovoltaik, rritje funksionale e filmit të hollë, karbonizim, nitridim dhe më shumë.

Kushtet e Operimit

Temperatura: temperatura e dhomës deri në 1250 °C (lejoni një diferencë sigurie prej 10–15% në varësi të dizajnit të ngrohësit dhe ΔT)
Presioni: nga nivelet e vakumit me presion të ulët/LPCVD në presion pozitiv afër atmosferës (specifikimet përfundimtare për porosi blerjeje)

Materialet dhe Logjika Strukturore

Trup SiC Monolitik (I Prodhuar me Aditivë)

β-SiC me dendësi të lartë ose SiC shumëfazësh, i ndërtuar si një komponent i vetëm - pa nyje ose shtresa të salduara që mund të rrjedhin ose të krijojnë pika stresi.
Përçueshmëria e lartë termike mundëson reagim të shpejtë termik dhe uniformitet të shkëlqyer të temperaturës aksiale/radiale.
Koeficienti i ulët dhe i qëndrueshëm i zgjerimit termik (CTE) siguron stabilitet dimensional dhe vulosje të besueshme në temperatura të larta.

Veshje Funksionale CVD SiC

I depozituar in-situ, ultra i pastër (papastërti sipërfaqësore/veshëse < 5 ppm) për të shtypur gjenerimin e grimcave dhe çlirimin e joneve metalike.
Inertësi e shkëlqyer kimike ndaj gazrave oksidues dhe atyre që përmbajnë klor, duke parandaluar sulmin ndaj murit ose ridepozitimin.
Opsione trashësie specifike për zonën për të balancuar rezistencën ndaj korrozionit dhe reagimin termik.

Përfitim i kombinuarTrupi i fortë SiC siguron forcë strukturore dhe përçueshmëri të nxehtësisë, ndërsa shtresa CVD garanton pastërti dhe rezistencë ndaj korrozionit për besueshmëri dhe rendiment maksimal.

Objektivat Kryesore të Performancës

Temperatura e përdorimit të vazhdueshëm:≤ 1250 °C
Papastërtitë e substratit në masë:< 300 ppm
Papastërtitë sipërfaqësore CVD-SiC:< 5 ppm
Tolerancat dimensionale: OD ±0.3–0.5 mm; koaksialitet ≤ 0.3 mm/m (në dispozicion edhe më i ngushtë)
Vrazhdësia e murit të brendshëm: Ra ≤ 0.8–1.6 µm (me përfundim të lëmuar ose pothuajse si pasqyrë opsionale)
Shkalla e rrjedhjes së heliumit: ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s
Rezistencë ndaj goditjeve termike: i mbijeton cikleve të përsëritura të nxehtësisë/ftohtësisë pa çarje ose plasaritje
Montimi i dhomës së pastër: Klasa ISO 5–6 me nivele të certifikuara të mbetjeve të grimcave/joneve metalike

Konfigurimet dhe Opsionet

GjeometriOD 50–400 mm (më e madhe sipas vlerësimit) me konstruksion të gjatë njëpjesësh; trashësia e murit e optimizuar për forcën mekanike, peshën dhe fluksin e nxehtësisë.
Dizajnet e fundit: flanxha, grykë zile, bajonetë, unaza vendodhjeje, kanale unaze O dhe porta të personalizuara për nxjerrjen e pompës ose presionin.
Portet funksionale: kanale kalimi për termoçiftet, vende xhami pamjeje, hyrje anashkalimi gazi - të gjitha të projektuara për funksionim në temperaturë të lartë dhe hermetik.
Skemat e veshjes: mur i brendshëm (parazgjedhur), mur i jashtëm ose mbulim i plotë; mbrojtje e synuar ose trashësi e graduar për rajonet me goditje të lartë.
Trajtimi sipërfaqësor dhe pastërtia: shkallë të shumëfishta ashpërsie, pastrim me ultratinguj/DI dhe protokolle të personalizuara pjekjeje/tharjeje.
Aksesorë: flanxha grafiti/qeramike/metalike, guarnicione, pajisje vendosjeje, mbështjellësa transportimi dhe djepa magazinimi.

Krahasimi i Performancës

Metrikë	Tub SiC	Tub kuarci	Tub alumini	Tub grafiti
Përçueshmëria termike	I lartë, uniform	I ulët	I ulët	I lartë
Fortësi/zvarritje në temperaturë të lartë	Shkëlqyeshëm	I drejtë	Mirë	I mirë (i ndjeshëm ndaj oksidimit)
Shoku termik	Shkëlqyeshëm	I dobët	Moderuar	Shkëlqyeshëm
Pastërtia / jonet metalike	Shkëlqyeshëm (i ulët)	Moderuar	Moderuar	I varfër
Oksidimi dhe kimia e Cl-së	Shkëlqyeshëm	I drejtë	Mirë	I dobët (oksidon)
Kostoja kundrejt jetëgjatësisë së shërbimit	Jetëgjatësi mesatare/e gjatë	I ulët / i shkurtër	Mesatare / mesatare	Mesatare / e kufizuar nga mjedisi

Pyetje të Shpeshta (FAQ)

P1. Pse të zgjidhni një trup monolit SiC të printuar në 3D?
A. Eliminon qepjet dhe saldimet që mund të rrjedhin ose të përqendrojnë stresin, dhe mbështet gjeometri komplekse me saktësi dimensionale të qëndrueshme.

P2. A është SiC rezistent ndaj gazrave që përmbajnë klor?
A. Po. CVD-SiC është shumë inerte brenda kufijve të specifikuar të temperaturës dhe presionit. Për zonat me ndikim të lartë, rekomandohen veshje të trasha lokale dhe sisteme të fuqishme pastrimi/shkarkimi.

P3. Si i tejkalon tubat e kuarcit?
A. SiC ofron jetëgjatësi më të madhe shërbimi, uniformitet më të mirë të temperaturës, ndotje më të ulët të grimcave/joneve metalike dhe TCO të përmirësuar - veçanërisht përtej ~900 °C ose në atmosfera oksiduese/të kloruara.

P4. A mund të përballojë tubi rritjen e shpejtë termike?
A. Po, me kusht që të respektohen udhëzimet maksimale të ΔT dhe shkallës së rampës. Çiftëzimi i një trupi SiC me κ të lartë me një shtresë të hollë CVD mbështet tranzicione të shpejta termike.

P5. Kur kërkohet zëvendësim?
A. Zëvendësoni tubin nëse zbuloni çarje në flanxha ose skaje, gropa në veshje ose spërkatje, rritje të shkallës së rrjedhjeve, zhvendosje të konsiderueshme të profilit të temperaturës ose gjenerim jonormal të grimcave.

Rreth Nesh

XKH specializohet në zhvillimin, prodhimin dhe shitjen e teknologjisë së lartë të qelqit optik special dhe materialeve të reja kristalore. Produktet tona i shërbejnë elektronikës optike, elektronikës së konsumit dhe ushtrisë. Ne ofrojmë komponentë optikë safir, mbulesa lentesh për telefona celularë, qeramikë, LT, SIC karabit silikoni, kuarc dhe pllaka kristali gjysmëpërçuese. Me ekspertizë të kualifikuar dhe pajisje të përparuara, ne shkëlqejmë në përpunimin e produkteve jo standarde, duke synuar të jemi një ndërmarrje kryesore e teknologjisë së lartë të materialeve optoelektronike.