Silicon karbid karbid qeramik pinjoll pinjollë silikoni karbid qeramike furnizoni përpunimin e personalizuar me temperaturë të lartë

Përshkrimi i shkurtër:

Tabaka qeramike e karbidit silikoni dhe tubat qeramikë të karbidit silikoni janë materiale të domosdoshme me performancë të lartë në prodhimin e gjysmëpërçuesit. Tabaka qeramike e karbidit të silikonit përdoret kryesisht në përpunimin e meshës fikse dhe mbajtjen, për të siguruar qëndrueshmërinë e procesit të precizionit të lartë; Tubat qeramikë të karbidit silikoni përdoren gjerësisht në tubat e furrës me temperaturë të lartë, tubat e furrës difuzioni dhe skenarët e tjerë për t'i bërë ballë mjediseve ekstreme dhe për të ruajtur menaxhimin efikas termik. Të dy bazohen në karbidin e silikonit si materiali thelbësor, i cili është bërë një përbërës kryesor në industrinë e gjysmëpërçuesit për shkak të vetive të shkëlqyera fizike dhe kimike.


Detaje

Etiketat e produkteve

Karakteristikat kryesore:

1. tabaka qeramike karbide silikoni
- Ngurtësia e lartë dhe rezistenca e veshjes: ngurtësia është afër diamantit, dhe mund t'i rezistojë veshin mekanik në përpunimin e meshës për një kohë të gjatë.
- Përçueshmëri e lartë termike dhe koeficient i ulët i zgjerimit termik: Shpërndarja e shpejtë e nxehtësisë dhe qëndrueshmëria dimensionale, duke shmangur deformimin e shkaktuar nga stresi termik.
- Flatness i lartë dhe përfundimi i sipërfaqes: Flashueshmëria e sipërfaqes është deri në nivelin e mikronit, duke siguruar kontakte të plota midis meshës dhe diskut, duke zvogëluar ndotjen dhe dëmtimin.
Stabiliteti kimik: Rezistencë e fortë e korrozionit, e përshtatshme për pastrimin e lagësht dhe proceset e etching në prodhimin e gjysmëpërçuesit.
2. tub qeramik karbid silikoni
- Rezistencë e lartë e temperaturës: Mund të funksionojë në mjedisin e temperaturës së lartë mbi 1600 ° C për një kohë të gjatë, të përshtatshme për procesin e temperaturës së lartë gjysmëpërçuese.
Rezistencë e shkëlqyeshme e korrozionit: rezistent ndaj acideve, alkaleve dhe një shumëllojshmëri e tretësve kimikë, të përshtatshëm për mjedise të ashpra të procesit.
- Ngurtësia e lartë dhe rezistenca e veshjes: Rezistoni erozionin e grimcave dhe veshin mekanik, zgjasni jetën e shërbimit.
- Përçueshmëri e lartë termike dhe koeficient i ulët i zgjerimit termik: Kryerja e shpejtë e nxehtësisë dhe qëndrueshmërisë dimensionale, zvogëlimi i deformimit ose plasaritjes së shkaktuar nga stresi termik.

Parametri i produktit

Parametri i tabakës qeramike të karbidit silikoni:

(Pronë materiale) (Njësi) (SSIC)
(Përmbajtja sic)   (Wt)% > 99
(Madhësia mesatare e grurit)   mikron 4-10
(Dendësia)   kg/dm3 > 3.14
(Poroziteti i dukshëm)   VO1% <0.5
(Ngurtësia e Vickers) HV 0.5 GPA 28
*()
Forca fleksibël* (tre pika)
20ºC MPA 450
(Forca kompresive) 20ºC MPA 3900
(Modul elastik) 20ºC GPA 420
(Ashpërsia e frakturës)   MPA/M '% 3.5
(Përçueshmëri termike) 20 ° ºC W/(m*k) 160
(Rezistencë) 20 ° ºC Ohm.cm 106-108

(Koeficienti i zgjerimit termik)
a (rt ** ... 80ºC) K-1*10-6 4.3

(Temperatura maksimale e funksionimit)
  OºC 1700

 

Parametri i tubit qeramik të karbidit silikoni:

Sende Indeks
α-sic 99% min
Porozitet i dukshëm 16% max
Dendësi me shumicë 2.7g/cm3 min
Forca e lakimit në temperaturë të lartë 100 MPa min
Koeficienti i zgjerimit termik K -1 4.7x10 -6
Koeficienti i përçueshmërisë termike (1400ºC) 24 w/mk
Max. Temperaturë pune 1650ºC

 

Aplikimet kryesore:

1. Pllaka qeramike e karbidit silikoni
- Prerja dhe lustrimi i meshës: Shërben si një platformë mbajtëse për të siguruar saktësi dhe stabilitet të lartë gjatë prerjes dhe lustrimit.
- Procesi i litografisë: mesha është e fiksuar në makinën e litografisë për të siguruar pozicionimin me precizion të lartë gjatë ekspozimit.
- Pushtimi Mekanik Kimik (CMP): vepron si një platformë mbështetëse për lustrimin e pads, duke siguruar presion uniform dhe shpërndarje të nxehtësisë.
2. tub qeramik karbid silikoni
- Tubi i furrës me temperaturë të lartë: Përdoret për pajisje të temperaturës së lartë siç janë furra difuzioni dhe furra oksidimi për të mbajtur meshë për trajtimin e procesit të temperaturës së lartë.
- Procesi CVD/PVD: Si një tub mbajtës në dhomën e reagimit, rezistent ndaj temperaturave të larta dhe gazrave gërryes.
- Aksesorë të pajisjeve gjysmëpërçuese: Për shkëmbyesit e nxehtësisë, tubacionet e gazit, etj., Për të përmirësuar efikasitetin e menaxhimit termik të pajisjeve.
XKH ofron një gamë të plotë të shërbimeve me porosi për tabaka qeramike të karbidit silikon, gota thithëse dhe tuba qeramike karbide silikoni. Tabaka qeramike të karbidit silikoni dhe gota thithëse, XKH mund të personalizohen sipas kërkesave të klientëve të madhësive të ndryshme, formave dhe vrazhdësisë së sipërfaqes, dhe të mbështesin trajtimin e veçantë të veshjes, të përmirësojnë rezistencën e veshjes dhe rezistencën ndaj korrozionit; Për tubat qeramikë të karbidit silikoni, XKH mund të rregullojë një shumëllojshmëri të diametrit të brendshëm, diametrit të jashtëm, gjatësisë dhe strukturës komplekse (siç është tubi në formë ose tubi poroz), dhe të sigurojë lustrim, veshje anti-oksidimi dhe procese të tjera të trajtimit sipërfaqësor. XKH siguron që klientët të mund të përfitojnë plotësisht nga përfitimet e performancës së produkteve qeramike të karbidit të silikonit për të përmbushur kërkesat e kërkuara të fushave të prodhimit të nivelit të lartë siç janë gjysmëpërçuesit, LED dhe fotovoltaikët.

Diagram i detajuar

SIC Ceramic Tabay dhe Tub 6
SIC Ceramic Tabay dhe Tube 7
SIC Ceramic Tabay dhe Tub 8
SIC Ceramic Tabay dhe Tub 9

  • I mëparshmi:
  • Tjetra:

  • Shkruajeni mesazhin tuaj këtu dhe na dërgoni