Silicon karbid karbid qeramik pinjoll pinjollë silikoni karbid qeramike furnizoni përpunimin e personalizuar me temperaturë të lartë
Karakteristikat kryesore:
1. tabaka qeramike karbide silikoni
- Ngurtësia e lartë dhe rezistenca e veshjes: ngurtësia është afër diamantit, dhe mund t'i rezistojë veshin mekanik në përpunimin e meshës për një kohë të gjatë.
- Përçueshmëri e lartë termike dhe koeficient i ulët i zgjerimit termik: Shpërndarja e shpejtë e nxehtësisë dhe qëndrueshmëria dimensionale, duke shmangur deformimin e shkaktuar nga stresi termik.
- Flatness i lartë dhe përfundimi i sipërfaqes: Flashueshmëria e sipërfaqes është deri në nivelin e mikronit, duke siguruar kontakte të plota midis meshës dhe diskut, duke zvogëluar ndotjen dhe dëmtimin.
Stabiliteti kimik: Rezistencë e fortë e korrozionit, e përshtatshme për pastrimin e lagësht dhe proceset e etching në prodhimin e gjysmëpërçuesit.
2. tub qeramik karbid silikoni
- Rezistencë e lartë e temperaturës: Mund të funksionojë në mjedisin e temperaturës së lartë mbi 1600 ° C për një kohë të gjatë, të përshtatshme për procesin e temperaturës së lartë gjysmëpërçuese.
Rezistencë e shkëlqyeshme e korrozionit: rezistent ndaj acideve, alkaleve dhe një shumëllojshmëri e tretësve kimikë, të përshtatshëm për mjedise të ashpra të procesit.
- Ngurtësia e lartë dhe rezistenca e veshjes: Rezistoni erozionin e grimcave dhe veshin mekanik, zgjasni jetën e shërbimit.
- Përçueshmëri e lartë termike dhe koeficient i ulët i zgjerimit termik: Kryerja e shpejtë e nxehtësisë dhe qëndrueshmërisë dimensionale, zvogëlimi i deformimit ose plasaritjes së shkaktuar nga stresi termik.
Parametri i produktit
Parametri i tabakës qeramike të karbidit silikoni:
(Pronë materiale) | (Njësi) | (SSIC) | |
(Përmbajtja sic) | (Wt)% | > 99 | |
(Madhësia mesatare e grurit) | mikron | 4-10 | |
(Dendësia) | kg/dm3 | > 3.14 | |
(Poroziteti i dukshëm) | VO1% | <0.5 | |
(Ngurtësia e Vickers) | HV 0.5 | GPA | 28 |
*() Forca fleksibël* (tre pika) | 20ºC | MPA | 450 |
(Forca kompresive) | 20ºC | MPA | 3900 |
(Modul elastik) | 20ºC | GPA | 420 |
(Ashpërsia e frakturës) | MPA/M '% | 3.5 | |
(Përçueshmëri termike) | 20 ° ºC | W/(m*k) | 160 |
(Rezistencë) | 20 ° ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Koeficienti i zgjerimit termik) | a (rt ** ... 80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Temperatura maksimale e funksionimit) | OºC | 1700 |
Parametri i tubit qeramik të karbidit silikoni:
Sende | Indeks |
α-sic | 99% min |
Porozitet i dukshëm | 16% max |
Dendësi me shumicë | 2.7g/cm3 min |
Forca e lakimit në temperaturë të lartë | 100 MPa min |
Koeficienti i zgjerimit termik | K -1 4.7x10 -6 |
Koeficienti i përçueshmërisë termike (1400ºC) | 24 w/mk |
Max. Temperaturë pune | 1650ºC |
Aplikimet kryesore:
1. Pllaka qeramike e karbidit silikoni
- Prerja dhe lustrimi i meshës: Shërben si një platformë mbajtëse për të siguruar saktësi dhe stabilitet të lartë gjatë prerjes dhe lustrimit.
- Procesi i litografisë: mesha është e fiksuar në makinën e litografisë për të siguruar pozicionimin me precizion të lartë gjatë ekspozimit.
- Pushtimi Mekanik Kimik (CMP): vepron si një platformë mbështetëse për lustrimin e pads, duke siguruar presion uniform dhe shpërndarje të nxehtësisë.
2. tub qeramik karbid silikoni
- Tubi i furrës me temperaturë të lartë: Përdoret për pajisje të temperaturës së lartë siç janë furra difuzioni dhe furra oksidimi për të mbajtur meshë për trajtimin e procesit të temperaturës së lartë.
- Procesi CVD/PVD: Si një tub mbajtës në dhomën e reagimit, rezistent ndaj temperaturave të larta dhe gazrave gërryes.
- Aksesorë të pajisjeve gjysmëpërçuese: Për shkëmbyesit e nxehtësisë, tubacionet e gazit, etj., Për të përmirësuar efikasitetin e menaxhimit termik të pajisjeve.
XKH ofron një gamë të plotë të shërbimeve me porosi për tabaka qeramike të karbidit silikon, gota thithëse dhe tuba qeramike karbide silikoni. Tabaka qeramike të karbidit silikoni dhe gota thithëse, XKH mund të personalizohen sipas kërkesave të klientëve të madhësive të ndryshme, formave dhe vrazhdësisë së sipërfaqes, dhe të mbështesin trajtimin e veçantë të veshjes, të përmirësojnë rezistencën e veshjes dhe rezistencën ndaj korrozionit; Për tubat qeramikë të karbidit silikoni, XKH mund të rregullojë një shumëllojshmëri të diametrit të brendshëm, diametrit të jashtëm, gjatësisë dhe strukturës komplekse (siç është tubi në formë ose tubi poroz), dhe të sigurojë lustrim, veshje anti-oksidimi dhe procese të tjera të trajtimit sipërfaqësor. XKH siguron që klientët të mund të përfitojnë plotësisht nga përfitimet e performancës së produkteve qeramike të karbidit të silikonit për të përmbushur kërkesat e kërkuara të fushave të prodhimit të nivelit të lartë siç janë gjysmëpërçuesit, LED dhe fotovoltaikët.
Diagram i detajuar



