Thithëse tabaka qeramike prej karbidi silikoni Tub qeramik prej karbidi silikoni përpunim me porosi për sinterim me temperaturë të lartë
Karakteristikat kryesore:
1. Tabaka qeramike prej karbidi silikoni
- Fortësi e lartë dhe rezistencë ndaj konsumimit: fortësia është afër diamantit dhe mund t'i rezistojë konsumimit mekanik në përpunimin e pllakave për një kohë të gjatë.
- Përçueshmëri e lartë termike dhe koeficient i ulët i zgjerimit termik: shpërndarje e shpejtë e nxehtësisë dhe stabilitet dimensional, duke shmangur deformimin e shkaktuar nga stresi termik.
- Sheshmëri dhe përfundim i lartë sipërfaqësor: Sheshmëria e sipërfaqes është deri në nivelin e mikronit, duke siguruar kontakt të plotë midis pllakës së paketimit dhe diskut, duke zvogëluar ndotjen dhe dëmtimin.
Stabilitet kimik: Rezistencë e fortë ndaj korrozionit, e përshtatshme për pastrim të lagësht dhe procese gdhendjeje në prodhimin e gjysmëpërçuesve.
2. Tub qeramik prej karbidi silikoni
- Rezistencë ndaj temperaturës së lartë: Mund të funksionojë në mjedis me temperaturë të lartë mbi 1600°C për një kohë të gjatë, i përshtatshëm për procesin e gjysmëpërçuesve me temperaturë të lartë.
Rezistencë e shkëlqyer ndaj korrozionit: rezistente ndaj acideve, alkaleve dhe një sërë tretësish kimikë, të përshtatshme për mjedise të ashpra procesi.
- Fortësi e lartë dhe rezistencë ndaj konsumimit: rezistoni ndaj erozionit të grimcave dhe konsumimit mekanik, zgjasni jetëgjatësinë e shërbimit.
- Përçueshmëri e lartë termike dhe koeficient i ulët i zgjerimit termik: përçueshmëri e shpejtë e nxehtësisë dhe stabilitet dimensional, duke zvogëluar deformimin ose çarjen e shkaktuar nga stresi termik.
Parametri i Produktit:
Parametri i tabakasë prej qeramike të karbidit të silikonit:
| (Pronë materiale) | (Njësia) | (ssic) | |
| (Përmbajtja e SiC) | (Pesha)% | >99 | |
| (Madhësia mesatare e kokrrizave) | mikron | 4-10 | |
| (Dendësia) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Porozite e dukshme) | Vo1% | <0.5 | |
| (Fortësia e Vickers) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| *() Rezistenca në përkulje* (tre pikë) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Forca në shtypje) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Moduli i elasticitetit) | 20ºC | GPA | 420 |
| (Rezistenca ndaj thyerjes) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Përçueshmëria termike) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Rezistenca) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Koeficienti i zgjerimit termik) | një (RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Temperatura maksimale e funksionimit) | oºC | 1700 | |
Parametri i tubit qeramik të karbidit të silikonit:
| Artikuj | Indeksi |
| α-SIC | 99% min |
| Poroziteti i dukshëm | Maksimumi 16% |
| Dendësia e plotë | 2.7g/cm3 min |
| Rezistenca ndaj lakimit në temperaturë të lartë | 100 Mpa min |
| Koeficienti i Zgjerimit Termik | K-1 4.7x10 -6 |
| Koeficienti i Përçueshmërisë Termike (1400ºC) | 24 W/mk |
| Temperatura maksimale e punës | 1650ºC |
Aplikimet kryesore:
1. Pllakë qeramike prej karbidi silikoni
- Prerja dhe lustrimi i napolitanëve: shërben si platformë mbajtëse për të siguruar saktësi dhe stabilitet të lartë gjatë prerjes dhe lustrimit.
- Procesi i litografisë: Pllaka fiksohet në makinën e litografisë për të siguruar pozicionim me saktësi të lartë gjatë ekspozimit.
- Lëmimi Kimik Mekanik (CMP): vepron si një platformë mbështetëse për jastëkët e lëmimit, duke siguruar presion dhe shpërndarje uniforme të nxehtësisë.
2. Tub qeramik prej karbidi silikoni
- Tub furre me temperaturë të lartë: përdoret për pajisje me temperaturë të lartë, siç janë furrat e difuzionit dhe furrat e oksidimit, për të mbajtur naflete për trajtim me procese në temperaturë të lartë.
- Procesi CVD/PVD: Si një tub mbajtës në dhomën e reagimit, rezistent ndaj temperaturave të larta dhe gazrave gërryes.
- Pajisje shtesë për pajisje gjysmëpërçuese: për shkëmbyesit e nxehtësisë, tubacionet e gazit, etj., për të përmirësuar efikasitetin e menaxhimit termik të pajisjeve.
XKH ofron një gamë të plotë shërbimesh të personalizuara për tabaka qeramike prej karabit silici, gota thithëse dhe tuba qeramike prej karabit silici. Tabaka dhe gota thithëse prej karabit silici, XKH mund të personalizohen sipas kërkesave të klientëve për madhësi, forma dhe ashpërsi të ndryshme sipërfaqësore, dhe mbështesin trajtim special të veshjes, rrisin rezistencën ndaj konsumimit dhe rezistencën ndaj korrozionit; Për tubat qeramikë prej karabit silici, XKH mund të personalizojë një shumëllojshmëri diametrash të brendshëm, diametrash të jashtëm, gjatësi dhe strukturë komplekse (siç janë tuba me formë ose tub poroz), dhe të ofrojë procese të tjera të trajtimit të sipërfaqes. XKH siguron që klientët të mund të përfitojnë plotësisht nga përfitimet e performancës së produkteve qeramike prej karabit silici për të përmbushur kërkesat e larta të fushave të prodhimit të nivelit të lartë si gjysmëpërçuesit, LED-et dhe fotovoltaikët.
Diagram i detajuar
