Lopë me kantilever prej karabit silikoni (lopë me kantilever prej SiC)
Diagram i detajuar
Përmbledhje e produktit
Lopata konzolore prej karbidi silici, e prodhuar nga karbidi i silicit i lidhur me reaksion me performancë të lartë (RBSiC), është një komponent kritik i përdorur në sistemet e ngarkimit dhe trajtimit të pllakave të pllakave për aplikime gjysmëpërçuese dhe fotovoltaike.
Krahasuar me lopatat tradicionale të kuarcit ose grafitit, lopatat konzolore SiC ofrojnë forcë mekanike superiore, fortësi të lartë, zgjerim të ulët termik dhe rezistencë të jashtëzakonshme ndaj korrozionit. Ato ruajnë stabilitet të shkëlqyer strukturor në temperatura të larta, duke përmbushur kërkesat e rrepta të madhësive të mëdha të pllakave, jetëgjatësisë së zgjatur të shërbimit dhe ndotjes ultra të ulët.
Me zhvillimin e vazhdueshëm të proceseve gjysmëpërçuese drejt diametrave më të mëdhenj të pllakave, rendimentit më të lartë dhe mjediseve më të pastra të përpunimit, lopatat konzolore SiC kanë zëvendësuar gradualisht materialet konvencionale, duke u bërë zgjedhja e preferuar për furrat e difuzionit, LPCVD dhe pajisjet përkatëse të temperaturës së lartë.
Karakteristikat e produktit
-
Stabilitet i shkëlqyer në temperaturë të lartë
-
Funksionon në mënyrë të besueshme në 1000–1300℃ pa deformime.
-
Temperatura maksimale e shërbimit deri në 1380℃.
-
-
Kapacitet i Lartë Mbajtës i Ngarkesës
-
Rezistenca në përkulje deri në 250-280 MPa, shumë më e lartë se ajo e lopatave të kuarcit.
-
I aftë të trajtojë pllaka me diametër të madh (300 mm e lart).
-
-
Jetëgjatësi e zgjatur shërbimi dhe mirëmbajtje e ulët
-
Koeficient i ulët i zgjerimit termik (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), i kombinuar mirë me materialet e veshjes LPCVD.
-
Zvogëlon çarjet dhe zhveshjet e shkaktuara nga stresi, duke zgjatur ndjeshëm ciklet e pastrimit dhe mirëmbajtjes.
-
-
Rezistenca ndaj korrozionit dhe pastërtia
-
Rezistencë e shkëlqyer ndaj acideve dhe alkaleve.
-
Mikrostrukturë e dendur me porozitet të hapur <0.1%, duke minimizuar gjenerimin e grimcave dhe çlirimin e papastërtive.
-
-
Dizajn i pajtueshëm me automatizimin
-
Gjeometri e qëndrueshme e prerjes tërthore me saktësi të lartë dimensionale.
-
Integrohet pa probleme me sistemet robotike të ngarkimit dhe shkarkimit të pllakave të predhave, duke mundësuar prodhim plotësisht të automatizuar.
-
Vetitë Fizike dhe Kimike
| Artikull | Njësia | Të dhëna |
|---|---|---|
| Temperatura Maks. e Shërbimit | ℃ | 1380 |
| Dendësia | g/cm³ | 3.04 – 3.08 |
| Porozitet i Hapur | % | < 0.1 |
| Forca e përkuljes | MPa | 250 (20℃), 280 (1200℃) |
| Moduli i elasticitetit | GPA | 330 (20℃), 300 (1200℃) |
| Përçueshmëria termike | W/m·K | 45 (1200℃) |
| Koeficienti i Zgjerimit Termik | K⁻¹×10⁻⁶ | 4.5 |
| Fortësia e Vickers | HV2 | ≥ 2100 |
| Rezistencë ndaj acideve/alkaleve | - | Shkëlqyeshëm |
-
Gjatësitë standarde:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
-
Dimensione të personalizuara në dispozicion sipas kërkesës
Aplikacionet
-
Industria e gjysmëpërçuesve
-
LPCVD (Depozitimi i Avujve Kimikë me Presion të Ulët)
-
Proceset e difuzionit (fosfori, bori, etj.)
-
Oksidimi termik
-
-
Industria fotovoltaike
-
Difuzioni dhe veshja e polisilikonit dhe e pllakës monokristaline
-
Pjekja dhe pasivizimi në temperaturë të lartë
-
-
Fushat e tjera
-
Mjedise korrozive me temperaturë të lartë
-
Sisteme precize për trajtimin e pllakave që kërkojnë jetëgjatësi të gjatë shërbimi dhe ndotje të ulët
-
Përfitimet e Klientit
-
Kosto Operative të Ulura– Jetëgjatësi më e madhe krahasuar me lopatat kuarci, duke minimizuar kohën e ndërprerjes dhe frekuencën e zëvendësimit.
-
Rendiment më i lartë– Ndotje jashtëzakonisht e ulët siguron pastërtinë e sipërfaqes së pllakës së paketimit dhe zvogëlon shkallën e defekteve.
-
I sigurt për të ardhmen– I pajtueshëm me madhësi të mëdha të pllakave të pllakave dhe proceset gjysmëpërçuese të gjeneratës së ardhshme.
-
Produktivitet i përmirësuar– Plotësisht i pajtueshëm me sistemet e automatizimit robotik, duke mbështetur prodhimin me vëllim të lartë.
Pyetje të Shpeshta – Lopë Konsolike prej Karbiti Silikoni
P1: Çfarë është një lopatë konzol prej karbidi silikoni?
A: Është një komponent mbështetës dhe trajtimi i pllakës së paketimit i bërë nga karabit i silikonit të lidhur me reaksion (RBSiC). Përdoret gjerësisht në furrat e difuzionit, LPCVD dhe procese të tjera gjysmëpërçuese dhe fotovoltaike me temperaturë të lartë.
P2: Pse të zgjidhni SiC në vend të lopatave të kuarcit?
A: Krahasuar me lopatat kuarci, lopatat SiC ofrojnë:
-
Rezistencë mekanike dhe kapacitet mbajtës më i lartë i ngarkesës
-
Stabilitet më i mirë termik në temperatura deri në 1380℃
-
Jetëgjatësi shumë më e gjatë shërbimi dhe cikle mirëmbajtjeje të reduktuara
-
Gjenerim më i ulët i grimcave dhe rrezik kontaminimi
-
Pajtueshmëria me madhësi më të mëdha të pllakave (300 mm e lart)
P3: Çfarë madhësish pllakash mund të mbështesë lopata konzolore SiC?
A: Lopatat standarde janë të disponueshme për sistemet e furrave 2378 mm, 2550 mm dhe 2660 mm. Dimensione të personalizuara janë të disponueshme për të mbështetur pllaka deri në 300 mm e më shumë.
Rreth Nesh
XKH specializohet në zhvillimin, prodhimin dhe shitjen e teknologjisë së lartë të qelqit optik special dhe materialeve të reja kristalore. Produktet tona i shërbejnë elektronikës optike, elektronikës së konsumit dhe ushtrisë. Ne ofrojmë komponentë optikë safir, mbulesa lentesh për telefona celularë, qeramikë, LT, SIC karabit silikoni, kuarc dhe pllaka kristali gjysmëpërçuese. Me ekspertizë të kualifikuar dhe pajisje të përparuara, ne shkëlqejmë në përpunimin e produkteve jo standarde, duke synuar të jemi një ndërmarrje kryesore e teknologjisë së lartë të materialeve optoelektronike.











