SiC pllakë qeramike grafit me veshje CVD SiC për pajisjet

Qeramikat e karbitit të silikonit përdoren jo vetëm në fazën e depozitimit të filmit të hollë, si p.sh. epitaksi ose MOCVD, ose në përpunimin e vaferës, në zemër të së cilës tabakatë mbajtëse të vaferës për MOCVD fillimisht i nënshtrohen mjedisit të depozitimit, dhe për këtë arsye janë shumë rezistente ndaj nxehtësia dhe gërryerja.Mbartësit e veshur me SiC kanë gjithashtu përçueshmëri të lartë termike dhe veti të shkëlqyera të shpërndarjes termike.

Mbajtëse vaferash të karabit të silikonit (CVD SiC) për depozitimin e pastër kimik të avullit për përpunimin e depozitimit të avullit kimik organik të metaleve (MOCVD) me temperaturë të lartë.

Mbajtësit e pastër të vaferës CVD SiC janë dukshëm më superiorë ndaj mbajtësve konvencionalë të vaferës së përdorur në këtë proces, të cilët janë grafit dhe të veshur me një shtresë CVD SiC. këta transportues të veshur me bazë grafiti nuk mund t'i rezistojnë temperaturave të larta (1100 deri në 1200 gradë Celsius) të kërkuara për depozitimin e GaN të led-it blu dhe të bardhë të sotëm me shkëlqim të lartë. Temperaturat e larta bëjnë që veshja të zhvillojë vrima të vogla përmes të cilave kimikatet e procesit gërryejnë grafitin poshtë. Grimcat e grafitit më pas shpërthen dhe ndotin GaN, duke bërë që bartësi i veshur me vafer të zëvendësohet.

CVD SiC ka një pastërti prej 99,999% ose më shumë dhe ka përçueshmëri të lartë termike dhe rezistencë ndaj goditjes termike. Prandaj, mund të përballojë temperaturat e larta dhe mjediset e ashpra të prodhimit LED me shkëlqim të lartë. Është një material solid monolit që arrin dendësinë teorike, prodhon grimca minimale dhe shfaq rezistencë shumë të lartë ndaj korrozionit dhe erozionit. Materiali mund të ndryshojë errësirën dhe përçueshmërinë pa futur papastërti metalike. Mbajtësit e vaferës janë zakonisht 17 inç në diametër dhe mund të mbajnë deri në 40 vafera 2-4 inç.