Grafit pllake tabakaje qeramike SiC me veshje CVD SiC për pajisje

Qeramika e karbit të silikonit nuk përdoret vetëm në fazën e depozitimit të filmit të hollë, siç është epitaksi ose MOCVD, ose në përpunimin e pllakave, në zemër të të cilave tabakatë e bartësve të pllakave për MOCVD i nënshtrohen së pari mjedisit të depozitimit dhe për këtë arsye janë shumë rezistente ndaj nxehtësisë dhe korrozionit. Bartësit e veshur me SiC kanë gjithashtu përçueshmëri të lartë termike dhe veti të shkëlqyera të shpërndarjes termike.

Mbajtëse pllake të karbit të silicit (CVD SiC) me depozitim kimik të avullit për përpunimin e depozitimit kimik të avullit të metaleve organike (MOCVD) në temperaturë të lartë.

Transportuesit e pastër të pllakës SiC CVD janë dukshëm më superiorë se transportuesit konvencionalë të pllakës së përdorur në këtë proces, të cilët janë grafit dhe të veshur me një shtresë CVD SiC. Këta transportues të veshur me bazë grafiti nuk mund t'i rezistojnë temperaturave të larta (1100 deri në 1200 gradë Celsius) të kërkuara për depozitimin e GaN të llambave LED blu dhe të bardhë me shkëlqim të lartë të sotëm. Temperaturat e larta bëjnë që veshja të krijojë vrima të vogla përmes të cilave kimikatet e procesit gërryejnë grafitin poshtë. Grimcat e grafitit më pas shkëputen dhe ndotin GaN, duke bërë që transportuesi i veshur i pllakës të zëvendësohet.

SiC CVD ka një pastërti prej 99.999% ose më shumë dhe ka përçueshmëri të lartë termike dhe rezistencë ndaj goditjeve termike. Prandaj, mund t'i rezistojë temperaturave të larta dhe mjediseve të ashpra të prodhimit të LED-ve me shkëlqim të lartë. Është një material monolit i ngurtë që arrin dendësi teorike, prodhon grimca minimale dhe shfaq rezistencë shumë të lartë ndaj korrozionit dhe erozionit. Materiali mund të ndryshojë opacitetin dhe përçueshmërinë pa futur papastërti metalike. Mbajtëset e pllakave janë zakonisht 17 inç në diametër dhe mund të mbajnë deri në 40 pllaka 2-4 inç.