Pllakë/tabaka qeramike SiC për mbajtëse pllake 4 inç dhe 6 inç për ICP

Përshkrim i shkurtër:

Pllaka qeramike SiC është një komponent me performancë të lartë i projektuar nga karbid silici me pastërti të lartë, i projektuar për përdorim në mjedise ekstreme termike, kimike dhe mekanike. E njohur për fortësinë e saj të jashtëzakonshme, përçueshmërinë termike dhe rezistencën ndaj korrozionit, pllaka SiC përdoret gjerësisht si bartës i pllakave të pllakës, susceptor ose komponent strukturor në industrinë gjysmëpërçuese, LED, fotovoltaike dhe hapësinore.

Na dërgoni email

Karakteristikat

Abstrakt i pllakës qeramike SiC

Me stabilitet të jashtëzakonshëm termik deri në 1600°C dhe rezistencë të shkëlqyer ndaj gazrave reaktivë dhe mjediseve plazmatike, pllaka SiC siguron performancë të qëndrueshme gjatë proceseve të gdhendjes, depozitimit dhe difuzionit në temperaturë të lartë. Mikrostruktura e saj e dendur dhe jo poroze minimizon gjenerimin e grimcave, duke e bërë atë ideale për aplikime ultra të pastra në mjedise vakumi ose dhomash të pastra.

Zbatimi i pllakës qeramike SiC

1. Prodhimi i gjysmëpërçuesve

Pllakat qeramike SiC përdoren zakonisht si bartës të pllakave të pllakës, susceptorë dhe pllaka piedestali në pajisjet e prodhimit të gjysmëpërçuesve, të tilla si CVD (Depozitimi Kimik i Avujve), PVD (Depozitimi Fizik i Avujve) dhe sistemet e gdhendjes. Përçueshmëria e tyre e shkëlqyer termike dhe zgjerimi i ulët termik u lejojnë atyre të ruajnë shpërndarje uniforme të temperaturës, e cila është kritike për përpunimin e pllakave të pllakës me precizion të lartë. Rezistenca e SiC ndaj gazrave dhe plazmës korrozive siguron qëndrueshmëri në mjedise të ashpra, duke ndihmuar në uljen e kontaminimit të grimcave dhe mirëmbajtjen e pajisjeve.

2. Industria LED – ICP Etching

Në sektorin e prodhimit të LED-ve, pllakat SiC janë komponentë kyç në sistemet e gdhendjes ICP (Plazma e Lidhur Induktivisht). Duke vepruar si mbajtëse të pllakave të suvasë, ato ofrojnë një platformë të qëndrueshme dhe termikisht të fortë për të mbështetur pllakat e safirit ose GaN gjatë përpunimit të plazmës. Rezistenca e tyre e shkëlqyer ndaj plazmës, sheshtësia e sipërfaqes dhe stabiliteti dimensional ndihmojnë në sigurimin e saktësisë dhe uniformitetit të lartë të gdhendjes, duke çuar në rritjen e rendimentit dhe performancës së pajisjes në çipat LED.

3. Energjia fotovoltaike (PV) dhe energjia diellore

Pllakat qeramike SiC përdoren gjithashtu në prodhimin e qelizave diellore, veçanërisht gjatë hapave të sinterimit dhe kalitjes në temperaturë të lartë. Inercia e tyre në temperatura të larta dhe aftësia për t'i rezistuar deformimit sigurojnë përpunimin konsistent të pllakave të silikonit. Përveç kësaj, rreziku i tyre i ulët i kontaminimit është jetik për ruajtjen e efikasitetit të qelizave fotovoltaike.

Vetitë e pllakës qeramike SiC

1. Fortësi dhe fortësi mekanike e jashtëzakonshme

Pllakat qeramike SiC shfaqin rezistencë shumë të lartë mekanike, me një rezistencë tipike në përkulje që tejkalon 400 MPa dhe fortësi Vickers që arrin >2000 HV. Kjo i bën ato shumë rezistente ndaj konsumimit mekanik, gërryerjes dhe deformimit, duke siguruar jetëgjatësi të gjatë shërbimi edhe nën ngarkesë të lartë ose cikël termik të përsëritur.

2. Përçueshmëri e lartë termike

SiC ka përçueshmëri të shkëlqyer termike (zakonisht 120–200 W/m·K), duke i lejuar atij të shpërndajë në mënyrë të barabartë nxehtësinë në të gjithë sipërfaqen e tij. Kjo veti është kritike në procese të tilla si gdhendja e pllakave, depozitimi ose sinterimi, ku uniformiteti i temperaturës ndikon drejtpërdrejt në rendimentin dhe cilësinë e produktit.

3. Stabilitet termik superior

Me një pikë të lartë shkrirjeje (2700°C) dhe një koeficient të ulët të zgjerimit termik (4.0 × 10⁻⁶/K), pllakat qeramike SiC ruajnë saktësinë dimensionale dhe integritetin strukturor nën cikle të shpejta ngrohjeje dhe ftohjeje. Kjo i bën ato ideale për aplikime në furra me temperaturë të lartë, dhoma vakumi dhe mjedise plazme.

Vetitë Teknike
Indeksi	Njësia	Vlerë
Emri i materialit		Karbid silikoni i sinterizuar me reagim	Karbid silikoni i sinterizuar pa presion	Karbid silikoni i rikristalizuar
Kompozim		RBSiC	SSiC	R-SiC
Dendësia e masës	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
Forca në përkulje	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Rezistenca ndaj shtypjes	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Fortësia	Knoop	2700	2800	/
Thyerja e Këmbënguljes	MPa m1/2	4.5	4	/
Përçueshmëria termike	Javë/muaj	95	120	23
Koeficienti i Zgjerimit Termik	10^-60.1/°C	5	4	4.7
Nxehtësia specifike	Xhaul/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura maksimale në ajër	℃	1200	1500	1600
Moduli elastik	GPA	360	410	240

Pyetje dhe Përgjigje për pllakat qeramike SiC

P: Cilat janë vetitë e pllakës së karbidit të silikonit?

A: Pllakat e karbidit të silicit (SiC) janë të njohura për rezistencën e tyre të lartë, fortësinë dhe stabilitetin termik. Ato ofrojnë përçueshmëri të shkëlqyer termike dhe zgjerim të ulët termik, duke siguruar performancë të besueshme në temperatura ekstreme. SiC është gjithashtu kimikisht inert, rezistent ndaj acideve, alkaleve dhe mjediseve plazmatike, duke e bërë atë ideal për përpunimin e gjysmëpërçuesve dhe LED-ve. Sipërfaqja e tij e dendur dhe e lëmuar minimizon gjenerimin e grimcave, duke ruajtur përputhshmërinë me dhomat e pastra. Pllakat SiC përdoren gjerësisht si bartës të pllakave të pllakave, susceptorë dhe komponentë mbështetës në mjedise me temperaturë të lartë dhe korrozive në të gjithë industrinë e gjysmëpërçuesve, fotovoltaike dhe hapësirës ajrore.