Krahu i pirunit qeramik / efektori fundor SiC – Trajtim preciz i avancuar për prodhimin e gjysmëpërçuesve

Krahu i Pirunit Qeramik SiC / Efektori i Fundit - Trajtim i Avancuar me Precizion për Prodhimin e Gjysmëpërçuesve Imazh i Paraqitur

Përshkrim i shkurtër:

Krahu i pirunit prej qeramike SiC, i referuar shpesh si një efektor fundor prej qeramike, është një komponent trajtimi me precizion të lartë i zhvilluar posaçërisht për transportin, shtrirjen dhe pozicionimin e pllakave të pllakave në industritë e teknologjisë së lartë, veçanërisht brenda prodhimit të gjysmëpërçuesve dhe fotovoltaikëve. I prodhuar duke përdorur qeramikë karbidi silici me pastërti të lartë, ky komponent kombinon forcë mekanike të jashtëzakonshme, zgjerim termik ultra të ulët dhe rezistencë superiore ndaj goditjeve termike dhe korrozionit.

Na dërgoni email

Karakteristikat

Diagram i detajuar

Përmbledhje e produktit

Ndryshe nga efektorët fundorë tradicionalë të bërë nga alumini, çeliku inox apo edhe kuarci, efektorët fundorë qeramikë SiC ofrojnë performancë të pakrahasueshme në dhomat e vakumit, dhomat e pastra dhe mjediset e vështira të përpunimit, duke i bërë ata një pjesë kyçe të robotëve të trajtimit të pllakave të gjeneratës së ardhshme. Me kërkesën në rritje për prodhim pa ndotje dhe tolerancat më të rrepta në prodhimin e çipave, përdorimi i efektorëve fundorë qeramikë po bëhet me shpejtësi standardi i industrisë.

Parimi i Prodhimit

Fabrikimi iEfektorët fundorë qeramikë SiCpërfshin një sërë procesesh me saktësi të lartë dhe pastërti të lartë që sigurojnë si performancë ashtu edhe qëndrueshmëri. Zakonisht përdoren dy procese kryesore:

Karbid silikoni i lidhur me reaksion (RB-SiC)

Në këtë proces, një paraformë e bërë nga pluhuri i karbidit të silicit dhe materiali lidhës infiltrohet me silic të shkrirë në temperatura të larta (~1500°C), i cili reagon me karbonin e mbetur për të formuar një kompozit SiC-Si të dendur dhe të ngurtë. Kjo metodë ofron kontroll të shkëlqyer dimensional dhe është me kosto efektive për prodhim në shkallë të gjerë.

Karbid silikoni i sinterizuar pa presion (SSiC)

SSiC prodhohet duke sinterizuar pluhurin ultra të imët SiC me pastërti të lartë në temperatura jashtëzakonisht të larta (>2000°C) pa përdorur aditivë ose një fazë lidhëse. Kjo rezulton në një produkt me dendësi gati 100% dhe vetitë më të larta mekanike dhe termike të disponueshme midis materialeve SiC. Është ideal për aplikime ultrakritike të trajtimit të pllakave.

Përpunimi pasues

Përpunim me precizion CNCArrin një nivel të lartë rrafshësie dhe paralelizmi.
Përfundimi i SipërfaqesLëmimi me diamant zvogëlon ashpërsinë e sipërfaqes në <0.02 µm.
InspektimInterferometria optike, CMM dhe testimi jo-destruktiv përdoren për të verifikuar çdo pjesë.

Këto hapa garantojnë qëEfektori fundor i SiCOfron saktësi të qëndrueshme të vendosjes së pllakave të pllakave, planaritet të shkëlqyer dhe gjenerim minimal të grimcave.

Karakteristikat dhe Përfitimet Kryesore

Karakteristikë	Përshkrimi
Fortësi ultra e lartë	Fortësia e Vickers > 2500 HV, rezistente ndaj konsumimit dhe çarjes.
Zgjerim i ulët termik	CTE ~4.5×10⁻⁶/K, duke mundësuar stabilitet dimensional në ciklin termik.
Inertiteti Kimik	Rezistent ndaj HF, HCl, gazrave plazmatikë dhe agjentëve të tjerë gërryes.
Rezistencë e shkëlqyer ndaj goditjeve termike	I përshtatshëm për ngrohje/ftohje të shpejtë në sisteme vakumi dhe furre.
Ngurtësi dhe Fortësi e Lartë	Mbështet krahët e gjatë të pirunit të konzoluar pa devijim.
Gazim i ulët	Ideale për mjedise me vakum ultra të lartë (UHV).
Gati për dhoma të pastra ISO Klasa 1	Funksionimi pa grimca siguron integritetin e pllakës së paketimit.

Aplikacionet

Krahu/Efektori i Fundit të Pirunit Qeramik SiC përdoret gjerësisht në industri që kërkojnë saktësi, pastërti dhe rezistencë kimike ekstreme. Skenarët kryesorë të aplikimit përfshijnë:

Prodhim gjysmëpërçuesish

Ngarkimi/shkarkimi i pllakave në sistemet e depozitimit (CVD, PVD), gdhendjes (RIE, DRIE) dhe pastrimit.
Transporti robotik i pllakave të predhave midis FOUP-ve, kasetave dhe mjeteve të përpunimit.
Trajtimi i temperaturave të larta gjatë përpunimit termik ose pjekjes.

Prodhimi i qelizave fotovoltaike

Transport delikat i pllakave të brishta të silikonit ose substrateve diellore në linja të automatizuara.

Industria e Ekraneve të Sheshtë (FPD)

Zhvendosja e paneleve ose substrateve të mëdha prej qelqi në mjediset e prodhimit OLED/LCD.

Gjysmëpërçues i përbërë / MEMS

Përdoret në linjat e prodhimit të GaN, SiC dhe MEMS ku kontrolli i ndotjes dhe saktësia e pozicionimit janë thelbësore.

Roli i tij si efektor fundor është veçanërisht i rëndësishëm në sigurimin e trajtimit pa defekte dhe të qëndrueshëm gjatë operacioneve të ndjeshme.

Aftësitë e personalizimit

Ne ofrojmë përshtatje të gjerë për të përmbushur kërkesat e ndryshme të pajisjeve dhe proceseve:

Dizajn piruniParaqitjet me dy krahë, me shumë gishta ose me nivele të ndara.
Pajtueshmëria e Madhësisë së PllakësNapolitane nga 2” deri në 12”.
Ndërfaqet e MontimitI pajtueshëm me krahët robotikë OEM.
Tolerancat e Trashësisë dhe Sipërfaqes: Sheshtësi në nivel mikroni dhe rrumbullakosje e skajeve në dispozicion.
Karakteristikat kundër rrëshqitjesTekstura ose veshje sipërfaqësore opsionale për kapje të sigurt të napolitanës.

Seciliefektor fundor qeramikështë bashkë-projektuar me klientët për të siguruar përshtatje të saktë me ndryshime minimale të mjeteve.

Pyetje të Shpeshta (FAQ)

P1: Si është SiC më i mirë se kuarci për një aplikim me efektor fundor?
A1:Ndërsa kuarci përdoret zakonisht për pastërtinë e tij, atij i mungon qëndrueshmëria mekanike dhe është i prirur ndaj thyerjes nën ngarkesë ose goditje të temperaturës. SiC ofron forcë superiore, rezistencë ndaj konsumimit dhe stabilitet termik, duke zvogëluar ndjeshëm rrezikun e ndërprerjes së punës dhe dëmtimit të pllakave.

P2: A është ky krah piruni qeramik i pajtueshëm me të gjithë trajtuesit robotikë të pllakave të pllakës?
A2:Po, efektorët tanë fundorë prej qeramike janë të pajtueshëm me shumicën e sistemeve kryesore të trajtimit të pllakave të pllakave dhe mund të përshtaten me modelet tuaja specifike robotike me vizatime të sakta inxhinierike.

P3: A mund të përballojë pllaka 300 mm pa u deformuar?
A3:Absolutisht. Ngurtësia e lartë e SiC lejon që edhe krahët e hollë e të gjatë të pirunit të mbajnë në mënyrë të sigurt pllakat 300 mm pa u varur ose devijuar gjatë lëvizjes.

P4: Cila është jetëgjatësia tipike e shërbimit të një efektori fundor prej qeramike SiC?
A4:Me përdorimin e duhur, një efektor fundor SiC mund të zgjasë 5 deri në 10 herë më shumë se modelet tradicionale të kuarcit ose aluminit, falë rezistencës së tij të shkëlqyer ndaj stresit termik dhe mekanik.

P5: A ofroni zëvendësime ose shërbime të shpejta prototipizimi?
A5:Po, ne mbështesim prodhimin e shpejtë të mostrave dhe ofrojmë shërbime zëvendësimi bazuar në vizatime CAD ose pjesë të inxhinieruara në mënyrë të kundërt nga pajisjet ekzistuese.

Rreth Nesh

XKH specializohet në zhvillimin, prodhimin dhe shitjen e teknologjisë së lartë të qelqit optik special dhe materialeve të reja kristalore. Produktet tona i shërbejnë elektronikës optike, elektronikës së konsumit dhe ushtrisë. Ne ofrojmë komponentë optikë safir, mbulesa lentesh për telefona celularë, qeramikë, LT, SIC karabit silikoni, kuarc dhe pllaka kristali gjysmëpërçuese. Me ekspertizë të kualifikuar dhe pajisje të përparuara, ne shkëlqejmë në përpunimin e produkteve jo standarde, duke synuar të jemi një ndërmarrje kryesore e teknologjisë së lartë të materialeve optoelektronike.