Krah dorezimi efektor fundor qeramik SiC për bartjen e pllakave

Krah dorezimi efektori fundor prej qeramike SiC për mbajtjen e pllakave Imazh i paraqitur

Përshkrim i shkurtër:

Napolitanët LiNbO₃ përfaqësojnë standardin e artë në fotonikën e integruar dhe akustikën precize, duke ofruar performancë të pakrahasueshme në sistemet moderne optoelektronike. Si prodhues kryesor, ne kemi përsosur artin e prodhimit të këtyre substrateve të projektuara përmes teknikave të avancuara të ekuilibrit të transportit të avujve, duke arritur përsosmëri kristalore lider në industri me dendësi defektesh nën 50/cm².

Kapacitetet prodhuese të XKH përfshijnë diametra nga 75 mm deri në 150 mm, me kontroll të saktë të orientimit (prerje X/Y/Z ±0.3°) dhe opsione të specializuara dopaminimi duke përfshirë elementë të rrallë tokësorë. Kombinimi unik i vetive në pllakat LiNbO₃ - duke përfshirë koeficientin e tyre të jashtëzakonshëm r₃₃ (32±2 pm/V) dhe transparencën e gjerë nga afër-UV në mes-IR - i bën ato të domosdoshme për qarqet fotonike të gjeneratës së ardhshme dhe pajisjet akustike me frekuencë të lartë.

Na dërgoni email

Karakteristikat

Abstrakt i efektorit fundor prej qeramike SiC

Fundi-efektori qeramik SiC (karbit silikoni) është një komponent kritik në sistemet e trajtimit të pllakave me precizion të lartë që përdoren në prodhimin e gjysmëpërçuesve dhe në mjediset e përparuara të mikrofabrikimit. I projektuar për të përmbushur kërkesat e larta të mjediseve ultra të pastra, me temperaturë të lartë dhe shumë të qëndrueshme, ky fund-efektor i specializuar siguron transport të besueshëm dhe pa ndotje të pllakave gjatë hapave kryesorë të prodhimit, siç janë litografia, gdhendja dhe depozitimi.

Duke shfrytëzuar vetitë superiore të materialit të karbidit të silikonit - siç janë përçueshmëria e lartë termike, fortësia ekstreme, inercia kimike e shkëlqyer dhe zgjerimi minimal termik - efektori fundor prej qeramike SiC ofron ngurtësi mekanike të pakrahasueshme dhe stabilitet dimensional edhe nën cikël të shpejtë termik ose në dhoma procesi korroziv. Gjenerimi i ulët i grimcave dhe karakteristikat e rezistencës ndaj plazmës e bëjnë atë veçanërisht të përshtatshëm për aplikime në dhoma të pastra dhe përpunim në vakum, ku ruajtja e integritetit të sipërfaqes së pllakës dhe zvogëlimi i ndotjes së grimcave janë parësore.

Aplikimi i efektorit fundor qeramik SiC

1. Trajtimi i pllakave gjysmëpërçuese

Efektorët fundorë qeramikë SiC përdoren gjerësisht në industrinë e gjysmëpërçuesve për trajtimin e pllakave të silikonit gjatë prodhimit të automatizuar. Këta efektorë fundorë zakonisht montohen në krahë robotikë ose sisteme transferimi vakumi dhe janë të projektuar për të akomoduar pllaka të madhësive të ndryshme si 200 mm dhe 300 mm. Ato janë thelbësore në procese duke përfshirë Depozitimin Kimik të Avujve (CVD), Depozitimin Fizik të Avujve (PVD), gdhendjen dhe difuzionin - ku temperaturat e larta, kushtet e vakumit dhe gazrat gërryes janë të zakonshme. Rezistenca e jashtëzakonshme termike dhe stabiliteti kimik i SiC e bëjnë atë një material ideal për t'i bërë ballë mjediseve të tilla të ashpra pa degradim.

2. Pajtueshmëria me dhomat e pastra dhe vakumin

Në mjediset e dhomave të pastra dhe vakumit, ku ndotja e grimcave duhet të minimizohet, qeramika SiC ofron avantazhe të konsiderueshme. Sipërfaqja e dendur dhe e lëmuar e materialit i reziston gjenerimit të grimcave, duke ndihmuar në ruajtjen e integritetit të pllakës së paketimit gjatë transportit. Kjo i bën efektorët fundorë të SiC veçanërisht të përshtatshëm për procese kritike siç janë Litografia Ultraviolet Ekstreme (EUV) dhe Depozitimi Atomik i Shtresave (ALD), ku pastërtia është thelbësore. Për më tepër, çlirimi i ulët i SiC dhe rezistenca e lartë ndaj plazmës sigurojnë performancë të besueshme në dhomat e vakumit, duke zgjatur jetëgjatësinë e mjeteve dhe duke zvogëluar frekuencën e mirëmbajtjes.

3. Sisteme Pozicionimi me Precizion të Lartë

Preciziteti dhe stabiliteti janë thelbësorë në sistemet e avancuara të trajtimit të pllakave, veçanërisht në pajisjet e metrologjisë, inspektimit dhe rreshtimit. Qeramika SiC ka një koeficient jashtëzakonisht të ulët të zgjerimit termik dhe ngurtësi të lartë, të cilat i lejojnë efektorit fundor të ruajë saktësinë e tij strukturore edhe nën ciklin termik ose ngarkesën mekanike. Kjo siguron që pllakat të mbeten të rreshtuara saktësisht gjatë transportit, duke minimizuar rrezikun e mikro-gërvishtjeve, keqpozicionimit ose gabimeve të matjes - faktorë që janë gjithnjë e më kritikë në nyjet e procesit nën 5 nm.

Vetitë e efektorit fundor qeramik SiC

1. Fortësi dhe fortësi e lartë mekanike

Qeramika SiC posedon rezistencë të jashtëzakonshme mekanike, me një rezistencë në përkulje që shpesh tejkalon 400 MPa dhe vlera të fortësisë Vickers mbi 2000 HV. Kjo i bën ato shumë rezistente ndaj stresit mekanik, goditjes dhe konsumimit, edhe pas përdorimit të zgjatur operativ. Ngurtësia e lartë e SiC gjithashtu minimizon devijimin gjatë transferimeve të pllakave me shpejtësi të lartë, duke siguruar pozicionim të saktë dhe të përsëritshëm.

2. Stabilitet i shkëlqyer termik

Një nga vetitë më të vlefshme të qeramikës SiC është aftësia e saj për t'i bërë ballë temperaturave jashtëzakonisht të larta - shpesh deri në 1600°C në atmosfera inerte - pa humbur integritetin mekanik. Koeficienti i tyre i ulët i zgjerimit termik (~4.0 x 10⁻⁶ /K) siguron stabilitet dimensional gjatë ciklit termik, duke i bërë ato ideale për aplikime të tilla si CVD, PVD dhe kalitja në temperaturë të lartë.

Pyetje dhe Përgjigje për efektorin fundor prej qeramike SiC

P: Çfarë materiali përdoret në efektorin e skajit të pllakës?

A:Efektorët e skajeve të pllakave zakonisht prodhohen nga materiale që ofrojnë rezistencë të lartë, stabilitet termik dhe gjenerim të ulët të grimcave. Midis këtyre, qeramika e karabit të silikonit (SiC) është një nga materialet më të përparuara dhe të preferuara. Qeramika SiC është jashtëzakonisht e fortë, termikisht e qëndrueshme, kimikisht inerte dhe rezistente ndaj konsumimit, duke i bërë ato ideale për trajtimin e pllakave delikate të silikonit në mjedise të pastra dhe vakumi. Krahasuar me kuarcin ose metalet e veshura, SiC ofron stabilitet dimensional superior në temperatura të larta dhe nuk lëshon grimca, gjë që ndihmon në parandalimin e kontaminimit.