SIC Qeramike Chuck Tray Tray Kupat e thithjes Qeramike Makinimi Precision i personalizuar
Karakteristikat e materialit:
1. Fortësia e lartë: Ngurtësia Mohs e karbidit të silikonit është 9.2-9.5, i dyti vetëm për diamantin, me rezistencë të fortë të veshjes.
2. Përçueshmëria e lartë termike: Përçueshmëria termike e karbidit të silikonit është aq i lartë sa 120-200 w/m · k, i cili mund të shpërndajë nxehtësinë shpejt dhe është e përshtatshme për mjedisin e temperaturës së lartë.
3. Koeficienti i ulët i zgjerimit termik: Koeficienti i zgjerimit termik të karbidit silikoni është i ulët (4.0-4.5 × 10⁻⁶/k), ende mund të ruajë stabilitetin dimensional në temperaturë të lartë.
4. Stabiliteti kimik: Acidi karbid silikoni dhe rezistenca ndaj korrozionit alkali, i përshtatshëm për t'u përdorur në mjedisin kimik gërryes.
5. Forca e lartë mekanike: Karbidi i silikonit ka forcë të lartë të lakimit dhe forcë kompresive, dhe mund t'i rezistojë stresit të madh mekanik.
Karakteristikat:
1. Në industrinë e gjysmëpërçuesit, meshat jashtëzakonisht të hollë duhet të vendosen në një filxhan thithjeje vakum, thithja vakum përdoret për të rregulluar meshat, dhe procesi i depilimit, rrallimit, depilimit, pastrimit dhe prerjes kryhet në meshë.
2. Sucker Carbide Ssibide ka përçueshmëri të mirë termike, mund të shkurtojë në mënyrë efektive kohën e depilimit dhe depilimit, të përmirësojë efikasitetin e prodhimit.
3.SILICON CARBIDE VACUUM SUCKER gjithashtu ka rezistencë të mirë të korrozionit të acidit dhe alkali.
4.Përparë me pllakën tradicionale të transportuesit të korundit, shkurtoni kohën e ngrohjes dhe shkarkimit të ngrohjes dhe ftohjes, përmirësoni efikasitetin e punës; Në të njëjtën kohë, ajo mund të zvogëlojë veshin midis pllakave të sipërme dhe të poshtme, të ruajë saktësinë e mirë të aeroplanit dhe të zgjasë jetën e shërbimit me rreth 40%.
5. Përqindja e materialit është e vogël, peshë e lehtë. Operatorsshtë më e lehtë për operatorët të mbajnë paleta, duke zvogëluar rrezikun e dëmtimit të përplasjes të shkaktuar nga vështirësitë e transportit me rreth 20%.
6.Sizimi: Diametri maksimal 640 mm; Flatness: 3um ose më pak
Fusha e aplikimit:
1. Prodhim gjysmëpërçues
● Përpunimi i meshës:
Për fiksimin e meshës në fotolitografi, gravuan, depozitim të hollë të filmit dhe procese të tjera, duke siguruar saktësi të lartë dhe konsistencë të procesit. Rezistenca e saj e lartë e temperaturës dhe korrozionit është e përshtatshme për mjedise të ashpra të prodhimit gjysmëpërçues.
Rritja Rritja epitaksiale:
Në rritjen e epitaksiale të SIC ose GAN, si një bartës për të ngrohur dhe rregulluar meshat, duke siguruar uniformitetin e temperaturës dhe cilësinë e kristalit në temperatura të larta, duke përmirësuar performancën e pajisjes.
2. Pajisjet fotoelektrike
● Prodhim LED:
Përdoret për të rregulluar substratin e safirit ose SIC, dhe si një transportues ngrohjeje në procesin MOCVD, për të siguruar uniformitetin e rritjes epitaksiale, për të përmirësuar efikasitetin dhe cilësinë e LED.
● Dioda lazer:
Si një pajisje me precizion të lartë, substratin e fiksimit dhe ngrohjes për të siguruar qëndrueshmërinë e temperaturës së procesit, përmirësoni fuqinë e daljes dhe besueshmërinë e diodës lazer.
3
Processing Përpunimi optik i komponentëve:
Përdoret për rregullimin e përbërësve të precizionit siç janë lentet optike dhe filtrat për të siguruar saktësi të lartë dhe ndotje të ulët gjatë përpunimit, dhe është i përshtatshëm për përpunimin me intensitet të lartë.
● Përpunimi qeramik:
Si një pajisje e lartë e stabilitetit, është e përshtatshme për përpunimin preciz të materialeve qeramike për të siguruar saktësinë e përpunimit dhe konsistencën nën temperaturë të lartë dhe mjedis gërryes.
4. Eksperimentet shkencore
Experiment Experiment me temperaturë të lartë:
Si një pajisje e fiksimit të mostrës në mjedise të temperaturës së lartë, ai mbështet eksperimente ekstreme të temperaturës mbi 1600 ° C për të siguruar uniformitetin e temperaturës dhe stabilitetin e mostrës.
Test Testi vakum:
Si një transportues i rregullimit dhe ngrohjes së mostrës në mjedisin vakum, për të siguruar saktësinë dhe përsëritshmërinë e eksperimentit, të përshtatshme për veshjen e vakumit dhe trajtimin e nxehtësisë.
Specifikimet Teknike
(Pronë materiale) | (Njësi) | (SSIC) | |
(Përmbajtja sic) |
| (Wt)% | > 99 |
(Madhësia mesatare e grurit) |
| mikron | 4-10 |
(Dendësia) |
| kg/dm3 | > 3.14 |
(Poroziteti i dukshëm) |
| VO1% | <0.5 |
(Ngurtësia e Vickers) | HV 0.5 | GPA | 28 |
*(Forca fleksibël) | 20ºC | MPA | 450 |
(Forca kompresive) | 20ºC | MPA | 3900 |
(Modul elastik) | 20ºC | GPA | 420 |
(Ashpërsia e frakturës) |
| MPA/M '% | 3.5 |
(Përçueshmëri termike) | 20 ° ºC | W/(m*k) | 160 |
(Rezistencë) | 20 ° ºC | Ohm.cm | 106-108 |
| a (rt ** ... 80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
| OºC | 1700 |
Me vite të akumulimit teknik dhe përvojës së industrisë, XKH është në gjendje të përshtatë parametrat kryesorë siç janë madhësia, metoda e ngrohjes dhe modelimi i adsorbimit të vakumit të Chuck sipas nevojave specifike të klientit, duke siguruar që produkti është përshtatur në mënyrë të përkryer me procesin e klientit. Chucks qeramike të karbidit të silikonit SIC janë bërë përbërës të domosdoshëm në përpunimin e meshës, rritjen epitaksiale dhe proceset e tjera kryesore për shkak të përçueshmërisë së tyre të shkëlqyeshme termike, stabilitetit të temperaturës së lartë dhe stabilitetit kimik. Sidomos në prodhimin e materialeve gjysmëpërçuese të gjeneratës së tretë si SIC dhe GAN, kërkesa për chucks qeramike të karbidit silikon vazhdon të rritet. Në të ardhmen, me zhvillimin e shpejtë të 5G, automjetet elektrike, inteligjencën artificiale dhe teknologjitë e tjera, perspektivat e aplikimit të chucks qeramike të karbidit të silikonit në industrinë gjysmëpërçuese do të jenë më të gjera.




Diagram i detajuar


