Tabaka mandrine qeramike SiC Gota thithëse qeramike për përpunim preciz i personalizuar
Karakteristikat e materialit:
1. Fortësi e lartë: Fortësia Mohs e karbidit të silikonit është 9.2-9.5, e dyta vetëm pas diamantit, me rezistencë të fortë ndaj konsumimit.
2. Përçueshmëri e lartë termike: përçueshmëria termike e karbidit të silicit është deri në 120-200 W/m·K, e cila mund të shpërndajë shpejt nxehtësinë dhe është e përshtatshme për mjedise me temperaturë të lartë.
3. Koeficient i ulët i zgjerimit termik: koeficienti i ulët i zgjerimit termik të karbidit të silikonit (4.0-4.5×10⁻⁶/K), mund të ruajë ende stabilitetin dimensional në temperaturë të lartë.
4. Stabiliteti kimik: rezistenca ndaj korrozionit të karbidit të silicit ndaj acidit dhe alkalit, i përshtatshëm për përdorim në mjedis kimikisht gërryes.
5. Rezistencë e lartë mekanike: karbidi i silikonit ka rezistencë të lartë ndaj lakimit dhe rezistencë ndaj shtypjes, dhe mund t'i rezistojë stresit të madh mekanik.
Karakteristikat:
1. Në industrinë e gjysmëpërçuesve, pllakat jashtëzakonisht të holla duhet të vendosen në një gotë thithëse vakumi, thithja vakum përdoret për të fiksuar pllakat, dhe procesi i dyllëzimit, hollimit, dyllëzimit, pastrimit dhe prerjes kryhet në pllaka.
2. Thithësi i karbidit të silikonit ka përçueshmëri të mirë termike, mund të shkurtojë në mënyrë efektive kohën e depilimit dhe depilimit, duke përmirësuar efikasitetin e prodhimit.
3. Thithësi vakum i karbidit të silikonit ka gjithashtu rezistencë të mirë ndaj korrozionit të acidit dhe alkalit.
4. Krahasuar me pllakën tradicionale bartëse të korundit, shkurton kohën e ngarkimit dhe shkarkimit të ngrohjes dhe ftohjes, përmirëson efikasitetin e punës; Në të njëjtën kohë, mund të zvogëlojë konsumimin midis pllakave të sipërme dhe të poshtme, të ruajë saktësi të mirë të rrafshit dhe të zgjasë jetëgjatësinë e shërbimit me rreth 40%.
5. Përqindja e materialit është e vogël, pesha e lehtë. Është më e lehtë për operatorët të mbajnë paleta, duke zvogëluar rrezikun e dëmtimit nga përplasja e shkaktuar nga vështirësitë e transportit me rreth 20%.
6. Madhësia: diametri maksimal 640 mm; Sheshësia: 3um ose më pak
Fusha e aplikimit:
1. Prodhimi i gjysmëpërçuesve
●Përpunimi i pllakave të plastikës:
Për fiksimin e pllakave në fotolitografi, gdhendje, depozitim të filmit të hollë dhe procese të tjera, duke siguruar saktësi të lartë dhe qëndrueshmëri të procesit. Rezistenca e tij ndaj temperaturave të larta dhe korrozionit është e përshtatshme për mjedise të ashpra prodhimi gjysmëpërçuesish.
●Rritje epitaksiale:
Në rritjen epitaksiale të SiC ose GaN, si bartës për të ngrohur dhe fiksuar pllakat, duke siguruar uniformitetin e temperaturës dhe cilësinë e kristalit në temperatura të larta, duke përmirësuar performancën e pajisjes.
2. Pajisje fotoelektrike
● Prodhimi i LED-ve:
Përdoret për të fiksuar substratin e safirit ose SiC, dhe si bartës ngrohjeje në procesin MOCVD, për të siguruar uniformitetin e rritjes epitaksiale, për të përmirësuar efikasitetin dhe cilësinë ndriçuese të LED-ve.
●Diodë lazeri:
Si një pajisje me precizion të lartë, substrati i fiksimit dhe ngrohjes siguron stabilitetin e temperaturës së procesit, përmirëson fuqinë e daljes dhe besueshmërinë e diodës lazer.
3. Përpunim preciz
●Përpunimi i komponentëve optikë:
Përdoret për fiksimin e komponentëve precizë siç janë lentet optike dhe filtrat për të siguruar saktësi të lartë dhe ndotje të ulët gjatë përpunimit, dhe është i përshtatshëm për përpunim me intensitet të lartë.
●Përpunimi qeramik:
Si një pajisje me stabilitet të lartë, është e përshtatshme për përpunim preciz të materialeve qeramike për të siguruar saktësi dhe qëndrueshmëri të përpunimit në temperaturë të lartë dhe mjedis gërryes.
4. Eksperimente shkencore
●Eksperiment me temperaturë të lartë:
Si një pajisje fiksimi të mostrës në mjedise me temperaturë të lartë, ajo mbështet eksperimente me temperaturë ekstreme mbi 1600°C për të siguruar uniformitetin e temperaturës dhe stabilitetin e mostrës.
●Test vakumi:
Si një bartës fiksimi dhe ngrohjeje i mostrës në mjedis vakumi, për të siguruar saktësinë dhe përsëritshmërinë e eksperimentit, i përshtatshëm për veshjen me vakum dhe trajtimin e nxehtësisë.
Specifikimet teknike:
| (Pronë materiale) | (Njësia) | (ssic) | |
| (Përmbajtja e SiC) |
| (Pesha)% | >99 |
| (Madhësia mesatare e kokrrizave) |
| mikron | 4-10 |
| (Dendësia) |
| kg/dm3 | >3.14 |
| (Porozite e dukshme) |
| Vo1% | <0.5 |
| (Fortësia e Vickers) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| *(Forca në përkulje) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Forca në shtypje) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Moduli i elasticitetit) | 20ºC | GPA | 420 |
| (Rezistenca ndaj thyerjes) |
| MPa/m'% | 3.5 |
| (Përçueshmëria termike) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Rezistenca) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
|
| një (RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| oºC | 1700 |
Me vite të tëra akumulimi teknik dhe përvoje në industri, XKH është në gjendje të përshtasë parametra kyç si madhësia, metoda e ngrohjes dhe dizajni i adsorbimit në vakum të mandrinës sipas nevojave specifike të klientit, duke siguruar që produkti të përshtatet në mënyrë të përkryer me procesin e klientit. Mandrinat qeramike prej karabit silici SiC janë bërë komponentë të domosdoshëm në përpunimin e pllakave, rritjen epitaksiale dhe procese të tjera kyçe për shkak të përçueshmërisë së tyre të shkëlqyer termike, stabilitetit të lartë në temperaturë të lartë dhe stabilitetit kimik. Sidomos në prodhimin e materialeve gjysmëpërçuese të gjeneratës së tretë si SiC dhe GaN, kërkesa për mandrinat qeramike prej karabit silici vazhdon të rritet. Në të ardhmen, me zhvillimin e shpejtë të 5G, automjeteve elektrike, inteligjencës artificiale dhe teknologjive të tjera, perspektivat e aplikimit të mandrinave qeramike prej karabit silici në industrinë e gjysmëpërçuesve do të jenë më të gjera.
Diagram i detajuar
