Metoda KY dhe EFG Sapphire Tube shufra safiri me presion të lartë
Përshkrimi
Shufrat Sapphire përdoren në një gamë të gjerë aplikimesh. Një shufër safiri mund të bëhet me të gjitha sipërfaqet e lëmuara për aplikime optike dhe konsumuese ose me të gjitha sipërfaqet e grira të imta (të pa lëmuara) për të shërbyer si izolues.
Teknologjia
Gjatë procesit të tërheqjes së tubave të safirit nga një shkrirje me ndihmën e një farë, gradienti gjatësor i temperaturës në zonën midis pjesës së përparme të ngurtësuar dhe rajonit të tërheqjes ku temperatura është midis 1850 dhe 1900 gradë. C ruhet jo më shumë se 30 gradë. C/cm. Tubi i rritur në këtë mënyrë pjeket në një temperaturë midis 1950 dhe 2000 gradë. C duke rritur temperaturën me një shpejtësi prej 30 deri në 40 gradë. C/min dhe mbajtja e tubit në temperaturën e përmendur gjatë një periudhe midis 3 dhe 4 orësh. Pas kësaj, tubi ftohet në temperaturën e dhomës me një shpejtësi prej 30-40 gradë. C/min.
Aplikacionet e përpunimit të gjysmëpërçuesve
(HPD CVD, PECVD, Dry Etch, Wet Etch).
Tub i aplikuesit plazma.
Grykët e injektorit të gazit të procesit.
Detektor i pikës fundore.
Tuba Excimer Corona.
Tuba për mbajtjen e plazmës
Makina për vulosjen e tubave të plazmës është një pajisje që përdoret për të kapsuluar komponentët elektronikë. Parimi i tij është të përdorë temperaturën e lartë dhe presionin e lartë të plazmës për të shkrirë materialin e paketimit dhe për ta mbyllur atë në përbërës. Komponentët kryesorë të makinës së vulosjes së tubave të plazmës përfshijnë gjeneratorin e plazmës, dhomën e vulosjes së tubit, sistemin vakum, sistemin e kontrollit, etj.
Mbulesa mbrojtëse e termoçiftit (Thermowell)
Termoelementi është një element matës i temperaturës që përdoret zakonisht në instrumentin matës të temperaturës, ai mat drejtpërdrejt temperaturën dhe konverton sinjalin e temperaturës në sinjal të forcës elektromotore termoelektrike, përmes instrumentit elektrik (instrumenti dytësor) në temperaturën e mediumit të matur.
Trajtimi/pastrimi i ujit
Vetitë e tubit safir (teorik)
Formula e Përbërjes | Al2O3 |
Pesha molekulare | 101,96 |
Pamja e jashtme | Tuba të tejdukshëm |
Pika e shkrirjes | 2050 °C (3720 °F) |
Pika e vlimit | 2,977° C (5,391° F) |
Dendësia | 4,0 g/cm3 |
Morfologjia | Trigonal (heks), R3c |
Tretshmëria në H2O | 98 x 10-6 g/100 g |
Indeksi i Përthyerjes | 1.8 |
Rezistenca elektrike | 17 10x Ω-m |
Raporti Poisson | 0.28 |
Nxehtësia specifike | 760 J kg-1 K-1 (293 K) |
Rezistenca në tërheqje | 1390 MPa (Ultimate) |
Përçueshmëria termike | 30 W/mK |
Zgjerimi termik | 5.3 μm/mK |
Moduli i Young | 450 GPa |
Mesha e saktë | 101.948 g/mol |
Masa monoizotopike | 101.94782 Da |