Me zhvillimin e vazhdueshëm të teknologjisë gjysmëpërçuese, në industrinë gjysmëpërçuese dhe madje edhe në industrinë fotovoltaike, kërkesat për cilësinë e sipërfaqes së substratit të pllakës ose fletës epitaksiale janë gjithashtu shumë të rrepta. Pra, cilat janë kërkesat e cilësisë për pllakëzat?pllakë safiriSi shembull, cilët tregues mund të përdoren për të vlerësuar cilësinë e sipërfaqes së napolitanëve?
Cilat janë treguesit e vlerësimit të napolitanëve?
Tre treguesit
Për pllakat e safirit, treguesit e vlerësimit janë devijimi total i trashësisë (TTV), përkulja (Bow) dhe deformimi (Warp). Këto tre parametra së bashku pasqyrojnë rrafshësinë dhe uniformitetin e trashësisë së pllakave të silikonit dhe mund të matin shkallën e valëzimit të pllakave. Valëzimi mund të kombinohet me rrafshësinë për të vlerësuar cilësinë e sipërfaqes së pllakave.
Çfarë është TTV, BOW, Warp?
TTV (Ndryshimi Total i Trashësisë)
TTV është diferenca midis trashësisë maksimale dhe minimale të një pllake. Ky parametër është një indeks i rëndësishëm që përdoret për të matur uniformitetin e trashësisë së pllakës. Në një proces gjysmëpërçues, trashësia e pllakës duhet të jetë shumë uniforme në të gjithë sipërfaqen. Matjet zakonisht bëhen në pesë vende në pllakë dhe diferenca llogaritet. Në fund të fundit, kjo vlerë është një bazë e rëndësishme për të gjykuar cilësinë e pllakës.
Hark
Harku në prodhimin e gjysmëpërçuesve i referohet lakimit të një pllake, duke liruar distancën midis pikës së mesit të një pllake të palidhur dhe planit të referencës. Fjala ndoshta vjen nga një përshkrim i formës së një objekti kur është i përkulur, si forma e lakuar e një harku. Vlera e lakimit përcaktohet duke matur devijimin midis qendrës dhe skajit të pllakës së silikonit. Kjo vlerë zakonisht shprehet në mikrometra (µm).
Warp
Deformimi është një veti globale e pllakave të silikonit që mat ndryshimin midis distancës maksimale dhe minimale midis mesit të një pllake të palidhur lirisht dhe planit të referencës. Përfaqëson distancën nga sipërfaqja e pllakës së silikonit deri në plan.
Cili është ndryshimi midis TTV, Harkut dhe Warp?
TTV përqendrohet në ndryshimet në trashësi dhe nuk merret me përkuljen ose shtrembërimin e pllakës së mbështjellëses.
Harku përqendrohet në përkuljen e përgjithshme, duke marrë kryesisht parasysh përkuljen e pikës qendrore dhe skajit.
Deformimi është më gjithëpërfshirës, duke përfshirë përkuljen dhe përdredhjen e të gjithë sipërfaqes së pllakës së paketimit.
Edhe pse këto tre parametra lidhen me formën dhe vetitë gjeometrike të pllakës së silikonit, ato maten dhe përshkruhen ndryshe, dhe ndikimi i tyre në procesin e gjysmëpërçuesve dhe përpunimin e pllakës është gjithashtu i ndryshëm.
Sa më të vegjël të jenë tre parametrat, aq më mirë, dhe sa më i madh parametri, aq më i madh është ndikimi negativ në procesin e gjysmëpërçuesve. Prandaj, si praktikues i gjysmëpërçuesve, duhet të kuptojmë rëndësinë e parametrave të profilit të pllakës për të gjithë procesin, duhet t'i kushtojmë vëmendje detajeve.
(censurë)
Koha e postimit: 24 qershor 2024