Tabela e përmbajtjes
1.Përmbledhje dhe Funksionet Kryesore të FOUP
2. Karakteristikat e strukturës dhe dizajnit të FOUP
3. Klasifikimi dhe Udhëzimet e Zbatimit të FOUP
4. Operacionet dhe Rëndësia e FOUP në Prodhimin e Gjysmëpërçuesve
5. Sfidat Teknike dhe Trendet e Zhvillimit të Ardhshëm
Zgjidhjet e Personalizuara dhe Mbështetja e Shërbimit të 6.XKH
Në procesin e prodhimit të gjysmëpërçuesve, Kapaku i Unifikuar me Hapje të Përparme (FOUP) është një enë kritike që përdoret për mbrojtjen, transportimin dhe ruajtjen e pllakave. Brendësia e tij mund të akomodojë 25 copë pllaka 300 mm, dhe përbërësit e tij kryesorë përfshijnë një enë që hapet nga përpara dhe një kornizë dere të dedikuar për hapje dhe mbyllje. FOUP është një bartës kryesor në sistemin e transportit të automatizuar brenda fabrikave të pllakave 12 inç. Zakonisht transportohet në gjendje të mbyllur dhe hapet vetëm kur shtyhet në portën e ngarkimit të pajisjeve, duke lejuar që pllakat të transferohen në portën e ngarkimit/shkarkimit të pajisjeve.
Dizajni i FOUP-it është përshtatur me kërkesat e mikro-mjedisit. Ai ka hapësira në pjesën e pasme për futjen e pllakave të predhave, dhe kapaku është projektuar posaçërisht për t'u përputhur me kapësen e hapëses. Robotët e trajtimit të pllakave të predhave funksionojnë në një mjedis me ajër të pastër të Klasit 1, duke siguruar që pllakat të mos kontaminohen gjatë transmetimit. Për më tepër, FOUP lëviz midis mjeteve të përpunimit nëpërmjet një sistemi të automatizuar të trajtimit të materialeve (AMHS). Fabrikat moderne të pllakave të predhave përdorin kryesisht sisteme hekurudhore ajrore për transport, ndërsa disa fabrika më të vjetra mund të përdorin automjete të drejtuara automatikisht (AGV) me bazë në tokë.
FOUP jo vetëm që mundëson transferimin automatik të pllakave, por shërben edhe si funksion ruajtjeje. Për shkak të hapave të shumtë të prodhimit, pllakave mund t'u duhen muaj për të përfunduar të gjithë rrjedhën e procesit. I kombinuar me vëllimet e larta mujore të prodhimit, kjo do të thotë që dhjetëra mijëra pllaka brenda një fabrike janë vazhdimisht në tranzit ose në ruajtje të përkohshme në çdo kohë të caktuar. Gjatë ruajtjes, FOUP-et pastrohen periodikisht me azot për të parandaluar kontaktin e ndotësve me pllakat, duke siguruar një proces prodhimi të pastër dhe të besueshëm.
1. Funksionet dhe Rëndësia e FOUP-it
Funksioni kryesor i FOUP është mbrojtja e pllakave nga goditjet dhe ndotja e jashtme, duke shmangur veçanërisht ndikimet në rendiment gjatë transferimit. Ai parandalon në mënyrë efektive lagështinë përmes metodave si pastrimi i gazit dhe Kontrolli Lokal i Atmosferës (LAC), duke siguruar që pllakat të mbeten në një gjendje të sigurt ndërsa presin hapin tjetër të prodhimit. Sistemi i tij i mbyllur dhe i kontrolluar lejon hyrjen vetëm të përbërësve dhe elementëve të nevojshëm, duke zvogëluar ndjeshëm efektet negative të VOC-ve, oksigjenit dhe lagështisë në pllaka.
Meqenëse një FOUP i ngarkuar plotësisht me 25 napolitane mund të peshojë deri në 9 kilogramë, transporti i tij duhet të mbështetet në një Sistem Automatik të Trajtimit të Materialeve (AMHS). Për ta lehtësuar këtë, FOUP është projektuar me kombinime të ndryshme të pllakave të bashkimit, kunjave dhe vrimave, dhe është i pajisur me etiketa elektronike RFID për identifikim dhe klasifikim të lehtë. Ky trajtim i automatizuar nuk kërkon pothuajse asnjë funksionim manual, duke ulur ndjeshëm shkallën e gabimeve dhe duke rritur sigurinë dhe saktësinë e procesit të prodhimit.
2. Struktura dhe Klasifikimi i FOUP-it
Dimensionet tipike të një FOUP janë afërsisht 420 mm në gjerësi, 335 mm në thellësi dhe 335 mm në lartësi. Komponentët e tij kryesorë strukturorë përfshijnë: një OHT (kokë kërpudhe) të sipërme për transportin e ngritësit sipër kokës; një derë të përparme për aksesin e pajisjeve në pllaka; doreza anësore, shpesh të koduara me ngjyra për të dalluar zonat e procesit me nivele të ndryshme ndotjeje; një zonë karte për vendosjen e kartave të mesazheve; dhe një etiketë RFID në fund që shërben si identifikues unik për FOUP-in, duke u lejuar veglave dhe ngritësve sipër kokës ta njohin atë. Baza është gjithashtu e pajisur me katër vrima identifikimi dhe pozicionimi për përputhjen me veglat dhe për dallimin e zonave të procesit.
Bazuar në përdorim, FOUP-et klasifikohen në tre lloje: PRD (për prodhim), ENG (për pllaka inxhinierike) dhe MON (për pllaka monitorimi). FOUP-et PRD mund të përdoren për prodhimin e produkteve, llojet ENG janë të përshtatshme për R&D ose eksperimente, dhe llojet MON janë të dedikuara për monitorimin e procesit për hapa si CMP dhe DIFF. Është e rëndësishme të theksohet se FOUP-et PRD mund të përdoren si për qëllime ENG ashtu edhe për MON, dhe llojet ENG mund të përdoren për MON, por operacioni i kundërt paraqet rreziqe për cilësinë.
Të klasifikuara sipas nivelit të kontaminimit, FOUP-et mund të ndahen në FE FOUP (proces i përparmë, pa metal), BE FOUP (proces i përparmë, përmban metal) dhe ato të specializuara për procese specifike metalike si NI FOUP, CU FOUP dhe CO FOUP. FOUP-et për procese të ndryshme zakonisht dallohen nga ngjyra e dorezave anësore ose paneleve të dyerve. FOUP-et nga proceset e përparmë mund të përdoren në proceset e përparmë, por FOUP-et e përparmë nuk duhet të përdoren kurrë në proceset e përparmë, pasi kjo do të shkaktonte rreziqe kontaminimi.
Si një bartës kyç në prodhimin e gjysmëpërçuesve, FOUP, nëpërmjet automatizimit të lartë dhe kontrollit të rreptë të ndotjes, siguron sigurinë dhe pastërtinë e pllakave të predhave gjatë procesit të prodhimit, duke e bërë atë një infrastrukturë të domosdoshme në fabrikat moderne të pllakave të predhave.
Përfundim
XKH është e përkushtuar t'u ofrojë klientëve zgjidhje shumë të personalizuara për Hapjen e Frontit të Unifikuar të Pod-it (FOUP), duke iu përmbajtur në mënyrë strikte kërkesave tuaja specifike të procesit dhe specifikimeve të ndërfaqes së pajisjeve. Duke përdorur teknologjinë e përparuar të materialeve dhe proceset e prodhimit me precizion, ne sigurohemi që çdo produkt FOUP të ofrojë hermeticitet, pastërti dhe stabilitet mekanik të jashtëzakonshëm. Ekipi ynë teknik posedon ekspertizë të thellë në industri, duke ofruar mbështetje gjithëpërfshirëse të ciklit jetësor - nga konsultimi i përzgjedhjes dhe optimizimi strukturor deri te pastrimi dhe mirëmbajtja - duke siguruar integrim të përsosur dhe bashkëpunim efikas midis FOUP dhe Sistemit tuaj të Automatizuar të Trajtimit të Materialeve (AMHS), si dhe pajisjeve të përpunimit. Ne vazhdimisht i japim përparësi sigurisë së pllakave dhe rritjes së rendimentit të prodhimit si objektivat tona kryesore. Përmes produkteve inovative dhe shërbimeve teknike gjithëpërfshirëse, ne ofrojmë një garanci të fortë për proceset tuaja të prodhimit të gjysmëpërçuesve, duke rritur në fund të fundit efikasitetin e prodhimit dhe rendimentin e produktit.
Koha e postimit: 08 shtator 2025