Pllakë LNOI (Niobat Litiumi në Izolator) Telekomunikacion Ndjeshmëri Elektro-Optike e Lartë
Diagram i detajuar
Përmbledhje
Brenda kutisë së pllakës së metalit ka brazda simetrike, dimensionet e të cilave janë rreptësisht uniforme për të mbështetur dy anët e pllakës së metalit. Kutia kristalore në përgjithësi është bërë nga material plastik i tejdukshëm PP i cili është rezistent ndaj temperaturës, konsumimit dhe elektricitetit statik. Ngjyra të ndryshme të aditivëve përdoren për të dalluar segmentet e procesit metalik në prodhimin e gjysmëpërçuesve. Për shkak të madhësisë së vogël të çelësit të gjysmëpërçuesve, modeleve të dendura dhe kërkesave shumë të rrepta për madhësinë e grimcave në prodhim, kutisë së pllakës së metalit duhet t'i garantohet një mjedis i pastër për t'u lidhur me zgavrën e reagimit të kutisë së mikroambientit të makinave të ndryshme të prodhimit.
Metodologjia e Fabrikimit
Prodhimi i pllakave LNOI përbëhet nga disa hapa të saktë:
Hapi 1: Implantimi i jonit të heliumitJonet e heliumit futen në një kristal LN në masë duke përdorur një implantues jonik. Këta jone vendosen në një thellësi specifike, duke formuar një plan të dobësuar që përfundimisht do të lehtësojë shkëputjen e filmit.
Hapi 2: Formimi i Substratit BazëNjë pllakë silikoni ose LN e veçantë oksidohet ose shtresohet me SiO2 duke përdorur PECVD ose oksidim termik. Sipërfaqja e saj e sipërme është e planarizuar për lidhje optimale.
Hapi 3: Lidhja e LN-së me SubstratinKristali LN i implantuar me jone përmbyset dhe ngjitet në pllakëzën bazë duke përdorur lidhje direkte të pllakës. Në mjediset kërkimore, benzociklobuteni (BCB) mund të përdoret si ngjitës për të thjeshtuar lidhjen në kushte më pak të rrepta.
Hapi 4: Trajtimi termik dhe ndarja e filmitPjekja aktivizon formimin e flluskave në thellësinë e implantuar, duke mundësuar ndarjen e filmit të hollë (shtresa e sipërme LN) nga masa. Forca mekanike përdoret për të përfunduar eksfolimin.
Hapi 5: Lustrimi i SipërfaqesLëmimi Kimik Mekanik (CMP) aplikohet për të lëmuar sipërfaqen e sipërme të LN-së, duke përmirësuar cilësinë optike dhe rendimentin e pajisjes.
Parametrat Teknikë
| Materiali | Optik Klasa LiNbO3 wafes (e bardhë) or E zezë) | |
| Curie Temp | 1142±0.7℃ | |
| Prerje Kënd | X/Y/Z etj. | |
| Diametri/madhësia | 2”/3”/4” ±0.03 mm | |
| Tol(±) | <0.20 mm ±0.005 mm | |
| Trashësia | 0.18~0.5 mm ose më shumë | |
| Kryesore Flat | 16mm/22mm/32mm | |
| TTV | <3μm | |
| Hark | -30 | |
| Warp | <40μm | |
| Orientimi Flat | Të gjitha në dispozicion | |
| Sipërfaqja Lloji | I lëmuar me një anë (SSP) / I lëmuar me dy anë (DSP) | |
| I lëmuar anë Ra | <0.5 nm | |
| S/D | 20/10 | |
| Skaj Kriteret | R=0.2 mm Tipi C or Bullnoze | |
| Cilësia | Falas of plasaritje (flluska dhe përfshirjet) | |
| Optik i dopuar | Mg/Fe/Zn/MgO etj. për optik gradë LN napolitane për kërkuar | |
| Napolitane Sipërfaqja Kriteret | Indeksi i thyerjes | Metoda e çiftëzimit me gjatësi vale/prizëm në 632nm No=2.2878/Ne=2.2033. |
| Kontaminimi, | Asnjë | |
| Grimca c>0.3μ m | <=30 | |
| Gërvishtje, copëtim | Asnjë | |
| Defekt | Pa çarje në skaje, gërvishtje, shenja sharre, njolla | |
| Paketimi | Sasia/Kuti me vafer | 25 copë për kuti |
Rastet e përdorimit
Për shkak të shkathtësisë dhe performancës së tij, LNOI përdoret në industri të shumta:
Fotonika:Modulatorë kompaktë, multiplekserë dhe qarqe fotonike.
RF/Akustikë:Modulatorë akusto-optikë, filtra RF.
Informatika kuantike:Përzierës frekuencash jolinearë dhe gjeneratorë të çifteve fotone.
Mbrojtja dhe Hapësira Ajrore:Xhiroskopë optikë me humbje të ulët, pajisje me zhvendosje frekuence.
Pajisjet Mjekësore:Biosensorë optikë dhe sonda sinjali me frekuencë të lartë.
Pyetje të shpeshta
P: Pse LNOI preferohet mbi SOI në sistemet optike?
A:LNOI paraqet koeficientë superiorë elektro-optikë dhe një gamë më të gjerë transparence, duke mundësuar performancë më të lartë në qarqet fotonike.
P: A është i detyrueshëm CMP pas ndarjes?
A:Po. Sipërfaqja e ekspozuar e LN është e ashpër pas prerjes së joneve dhe duhet të lëmohet për të përmbushur specifikimet e gradës optike.
P: Cila është madhësia maksimale e disponueshme e napolit?
A:Napolitanet komerciale LNOI janë kryesisht 3" dhe 4", megjithëse disa furnizues po zhvillojnë variante 6".
P: A mund të ripërdoret shtresa LN pas ndarjes?
A:Kristali bazë mund të ri-lustrohet dhe të ripërdoret disa herë, megjithëse cilësia mund të përkeqësohet pas cikleve të shumta.
P: A janë pllakat LNOI të pajtueshme me përpunimin CMOS?
A:Po, ato janë projektuar për t'u përshtatur me proceset konvencionale të prodhimit të gjysmëpërçuesve, veçanërisht kur përdoren substrate silikoni.
