Meshë 8 inç SiC e klasës së prodhimit 4H-N SiC substrate
Tabela e mëposhtme tregon specifikimet e vaferave tona SiC 8 inç:
Specifikimet e SiC DSP 8 inç të tipit N | |||||
Numri | Artikulli | Njësia | Prodhimi | Hulumtimi | Bedel |
1: parametrat | |||||
1.1 | politip | -- | 4H | 4H | 4H |
1.2 | orientimi i sipërfaqes | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
2: Parametri elektrik | |||||
2.1 | ndopanse | -- | Azoti i tipit n | Azoti i tipit n | Azoti i tipit n |
2.2 | rezistenca | ohm ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
3: Parametri mekanik | |||||
3.1 | diametri | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
3.2 | trashësia | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
3.3 | Orientimi në nivel | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
3.4 | Thellësia e nivelit | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm*10mm) | ≤5 (10mm*10mm) | ≤10 (10mm*10mm) |
3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
3.7 | Përkuluni | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
3.8 | Deformoj | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
4: Struktura | |||||
4.1 | dendësia e mikrotubit | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
4.2 | përmbajtje metalike | atome/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
5.Cilësia e përparme | |||||
5.1 | përpara | -- | Si | Si | Si |
5.2 | përfundimi i sipërfaqes | -- | CMP si-fytyre | CMP si-fytyre | CMP si-fytyre |
5.3 | grimcë | ea/vafer | ≤100 (madhësia≥0,3μm) | NA | NA |
5.4 | gërvishtje | ea/vafer | ≤5,Gjatësia totale≤200mm | NA | NA |
5.5 | Buzë patate të skuqura / vrima / çarje / njolla / kontaminim | -- | Asnjë | Asnjë | NA |
5.6 | Zonat politip | -- | Asnjë | Sipërfaqja ≤10% | Sipërfaqja ≤30% |
5.7 | shënimi i përparmë | -- | Asnjë | Asnjë | Asnjë |
6: Cilësia e shpinës | |||||
6.1 | përfundimi i pasëm | -- | C-fytyrë deputet | C-fytyrë deputet | C-fytyrë deputet |
6.2 | gërvishtje | mm | NA | NA | NA |
6.3 | Defektet e pasme buzë patate të skuqura/vrima | -- | Asnjë | Asnjë | NA |
6.4 | Vrazhdësia e shpinës | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
6.5 | Shenja e pasme | -- | Notch | Notch | Notch |
7: skaj | |||||
7.1 | buzë | -- | Chamfer | Chamfer | Chamfer |
8: Paketa | |||||
8.1 | ambalazhimi | -- | Epi-gati me vakum ambalazhimi | Epi-gati me vakum ambalazhimi | Epi-gati me vakum ambalazhimi |
8.2 | ambalazhimi | -- | Me shumë meshë paketim kasetë | Me shumë meshë paketim kasetë | Me shumë meshë paketim kasetë |
Diagrami i detajuar
Shkruani mesazhin tuaj këtu dhe na dërgoni