Pllakë SiC 8 inç e gradës së prodhimit, substrat SiC 4H-N
Tabela e mëposhtme tregon specifikimet e pllakave tona SiC 8 inç:
| Specifikimet e DSP SiC të tipit N 8 inç | |||||
| Numër | Artikull | Njësia | Prodhimi | Hulumtim | Mantel |
| 1: parametrat | |||||
| 1.1 | politip | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | orientimi i sipërfaqes | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Parametri elektrik | |||||
| 2.1 | dopant | -- | Azoti i tipit n | Azoti i tipit n | Azoti i tipit n |
| 2.2 | rezistencë | ohm · cm | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: Parametri mekanik | |||||
| 3.1 | diametër | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | trashësi | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Orientimi i prerjes | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Thellësia e prerjes | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Hark | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Warp | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Struktura | |||||
| 4.1 | dendësia e mikrotubave | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | përmbajtje metalike | atome/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Cilësia e pjesës së përparme | |||||
| 5.1 | përpara | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | përfundim sipërfaqësor | -- | CMP me sipërfaqe Si | CMP me sipërfaqe Si | CMP me sipërfaqe Si |
| 5.3 | grimcë | çaj/vafer | ≤100 (madhësia ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | gërvisht | çaj/vafer | ≤5, Gjatësia totale ≤200 mm | NA | NA |
| 5.5 | Skaj çarje/gropëza/çarje/njolla/ndotje | -- | Asnjë | Asnjë | NA |
| 5.6 | Zonat politipike | -- | Asnjë | Sipërfaqja ≤10% | Sipërfaqja ≤30% |
| 5.7 | shënimi i përparmë | -- | Asnjë | Asnjë | Asnjë |
| 6: Cilësia e pjesës së pasme | |||||
| 6.1 | përfundim prapa | -- | MP me fytyrë C | MP me fytyrë C | MP me fytyrë C |
| 6.2 | gërvisht | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Defektet e pasme të skajit copëza/gropëza | -- | Asnjë | Asnjë | NA |
| 6.4 | Vrazhdësi e shpinës | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Shënimi i pasmë | -- | Nyje | Nyje | Nyje |
| 7: skaj | |||||
| 7.1 | buzë | -- | Hamfer | Hamfer | Hamfer |
| 8:Paketë | |||||
| 8.1 | paketim | -- | Epi-gati me vakum paketim | Epi-gati me vakum paketim | Epi-gati me vakum paketim |
| 8.2 | paketim | -- | Shumë-vafer paketimi i kasetave | Shumë-vafer paketimi i kasetave | Shumë-vafer paketimi i kasetave |
Diagram i detajuar
Shkruani mesazhin tuaj këtu dhe na e dërgoni