6 inç SiC Epitaxiy meshë N/P tipi pranohet i personalizuar
Procesi i përgatitjes së vaferës epitaksiale të karbitit të silikonit është një metodë që përdor teknologjinë e depozitimit kimik të avullit (CVD). Më poshtë janë parimet teknike përkatëse dhe hapat e procesit të përgatitjes:
Parimi teknik:
Depozitimi kimik i avullit: Duke shfrytëzuar gazin e lëndës së parë në fazën e gazit, në kushte specifike reaksioni, ai zbërthehet dhe depozitohet në nënshtresë për të formuar shtresën e hollë të dëshiruar.
Reaksioni në fazën e gazit: Përmes pirolizës ose reaksionit të plasaritjes, gazrat e ndryshëm të lëndës së parë në fazën e gazit ndryshojnë kimikisht në dhomën e reaksionit.
Hapat e procesit të përgatitjes:
Trajtimi i nënshtresës: Nënshtresa i nënshtrohet pastrimit të sipërfaqes dhe paratrajtimit për të siguruar cilësinë dhe kristalinitetin e vaferës epitaksiale.
Korrigjimi i dhomës së reagimit: rregulloni temperaturën, presionin dhe shpejtësinë e rrjedhës së dhomës së reagimit dhe parametrave të tjerë për të siguruar stabilitetin dhe kontrollin e kushteve të reagimit.
Furnizimi me lëndë të parë: furnizoni lëndët e para të gazit të kërkuar në dhomën e reaksionit, duke përzier dhe kontrolluar shkallën e rrjedhës sipas nevojës.
Procesi i reaksionit: Me ngrohjen e dhomës së reaksionit, lënda e parë e gaztë i nënshtrohet një reaksioni kimik në dhomë për të prodhuar depozitimin e dëshiruar, dmth. film karabit silikoni.
Ftohja dhe shkarkimi: Në fund të reaksionit, temperatura ulet gradualisht për të ftohur dhe ngurtësuar depozitat në dhomën e reaksionit.
Pjekja epitaksiale dhe pas-përpunimi i vaferës epitaksiale: vafera epitaksiale e depozituar pjeket dhe përpunohet pas për të përmirësuar vetitë e saj elektrike dhe optike.
Hapat dhe kushtet specifike të procesit të përgatitjes së vaferës epitaksiale të karbitit të silikonit mund të ndryshojnë në varësi të pajisjeve dhe kërkesave specifike. Sa më sipër është vetëm një rrjedhë dhe parim i përgjithshëm i procesit, operacioni specifik duhet të rregullohet dhe optimizohet sipas situatës aktuale.