Pllakë LNOI me film kristalor të vetëm niobati litiumi 4 inç dhe 6 inç
Procesi i përgatitjes së materialeve LNOI ndahet kryesisht në katër hapat e mëposhtëm:
(1) Jonet He u injektuan në materialin e niobatit të litiumit të prerë në formë X me një energji të caktuar dhe u futën në shtresën e defektit në një thellësi të caktuar nën shtresën sipërfaqësore të niobatit të litiumit;
(2) Materiali i niobatit të litiumit i implantuar me jone lidhet me një substrat silikoni me një shtresë oksidi për të formuar një strukturë lidhëse;
(3) Struktura lidhëse u kalit për të bërë që defektet e futura nga implantimi i jonit He të evoluojnë dhe të agregohen për të formuar çarje. Së fundmi, niobati i litiumit u nda përgjatë shtresës së defektit për të formuar fetat e mbetura të niobatit të litiumit dhe pllakat LNOI.
Zbatimet dhe avantazhet e pllakës LNOI
1--Filmat piezoelektrik të niobatit të litiumit (LNOI) kanë koeficient të lartë piezoelektrik dhe konstante dielektrike, të cilat mund të shndërrojnë energjinë mekanike në energji elektrike ose energjinë elektrike në energji mekanike. Prandaj, përdoren gjerësisht në fushën e sensorëve, siç janë sensorët e presionit, sensorët e përshpejtimit, sensorët e temperaturës e kështu me radhë. Përveç kësaj, filmi piezoelektrik i niobatit të litiumit mund të përdoret gjithashtu në pajisje akustike dhe pajisje dridhjeje, siç janë transduktorët piezoelektrik qeramikë dhe filtrat kompleksë piezoelektrik qeramikë.
2- Stabiliteti i filmit piezoelektrik të niobatit të litiumit është gjithashtu një nga avantazhet e tij. Për shkak të stabilitetit të strukturës kristalore dhe inercisë kimike, filmi piezoelektrik i niobatit të litiumit mund të funksionojë në temperaturë të lartë, lagështi të lartë, acid të fortë, alkali të fortë dhe mjedise të tjera të ashpra, me rezistencë dhe qëndrueshmëri të mirë ndaj korrozionit.
Filmi piezoelektrik i 3-niobatit të litiumit është një material i ri piezoelektrik me performancë dhe stabilitet të shkëlqyer, dhe ka një perspektivë të gjerë aplikimi. Me zhvillimin e vazhdueshëm të shkencës dhe teknologjisë, filmi piezoelektrik i niobatit të litiumit do të aplikohet në më shumë qytete, duke sjellë më shumë komoditet dhe inovacion në jetën e njerëzve.
Diagram i detajuar


