Pllakë SiC 4H/6H-P 6 inç, gradë zero MPD, gradë prodhimi, gradë artificiale
Tabela e parametrave të përbashkët të substrateve kompozite SiC të tipit 4H/6H-P
6 Substrati i karbidit të silikonit (SiC) me diametër inç Specifikimi
Klasa | Prodhim Zero MPDKlasa (Z) Klasa) | Prodhimi StandardKlasa (P Klasa) | Notë e rreme (D Klasa) | ||
Diametri | 145.5 mm~150.0 mm | ||||
Trashësia | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientimi i pllakave të pllakës | -Offboshti: 2.0°-4.0° drejt [1120] ± 0.5° për 4H/6H-P, Në bosht: 〈111〉± 0.5° për 3C-N | ||||
Dendësia e mikrotubave | 0 cm-2 | ||||
Rezistenca | tipi p 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
tipi-n 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Orientimi Kryesor i Sheshtë | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
Gjatësia kryesore e sheshtë | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
Gjatësia e sheshtë sekondare | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
Orientimi i sheshtë dytësor | Sipërfaqja e silikonit lart: 90° Kënd i Drejtpërdrejtë nga niveli i sheshtë i Prime ± 5.0° | ||||
Përjashtim i skajit | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Hark /Shtrembërim | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Vrazhdësi | Polonisht Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
Çarje në skaje nga drita me intensitet të lartë | Asnjë | Gjatësia kumulative ≤ 10 mm, gjatësia e vetme ≤2 mm | |||
Pllaka gjashtëkëndëshe me dritë me intensitet të lartë | Sipërfaqja kumulative ≤0.05% | Sipërfaqja kumulative ≤0.1% | |||
Zonat politipike me dritë me intensitet të lartë | Asnjë | Sipërfaqja kumulative ≤3% | |||
Përfshirjet vizuale të karbonit | Sipërfaqja kumulative ≤0.05% | Sipërfaqja kumulative ≤3% | |||
Gërvishtjet e Sipërfaqes së Silikonit nga Drita me Intensitet të Lartë | Asnjë | Gjatësia kumulative ≤1 × diametri i pllakës | |||
Çipsa të skajeve me intensitet të lartë të dritës | Asnjë e lejuar ≥0.2 mm gjerësi dhe thellësi | 5 të lejuara, ≤1 mm secila | |||
Ndotja e Sipërfaqes së Silikonit nga Intensiteti i Lartë | Asnjë | ||||
Paketimi | Kasetë me shumë pllaka ose enë me një pllaka të vetme |
Shënime:
※ Limitet e defekteve zbatohen për të gjithë sipërfaqen e pllakës së plastikës, përveç zonës së përjashtimit të skajit. # Gërvishtjet duhet të kontrollohen në sipërfaqen Si o
Pllaka SiC 6-inç e tipit 4H/6H-P me gradë Zero MPD dhe gradë prodhimi ose artificiale përdoret gjerësisht në aplikimet e avancuara elektronike. Përçueshmëria e saj e shkëlqyer termike, tensioni i lartë i ndarjes dhe rezistenca ndaj mjediseve të ashpra e bëjnë atë ideal për elektronikën e fuqisë, siç janë çelësat dhe invertorët e tensionit të lartë. Grada Zero MPD siguron defekte minimale, të cilat janë kritike për pajisjet me besueshmëri të lartë. Pllakat e gradës së prodhimit përdoren në prodhimin në shkallë të gjerë të pajisjeve të fuqisë dhe aplikimeve RF, ku performanca dhe preciziteti janë thelbësore. Pllakat e gradës artificiale, nga ana tjetër, përdoren për kalibrimin e procesit, testimin e pajisjeve dhe prototipimin, duke mundësuar kontroll të qëndrueshëm të cilësisë në mjediset e prodhimit të gjysmëpërçuesve.
Avantazhet e substrateve kompozite SiC të tipit N përfshijnë
- Përçueshmëri e lartë termikePllaka SiC 4H/6H-P shpërndan në mënyrë efikase nxehtësinë, duke e bërë atë të përshtatshme për aplikime elektronike në temperaturë të lartë dhe fuqi të lartë.
- Tension i Lartë i NdërprerjesAftësia e tij për të përballuar tensione të larta pa dështime e bën atë ideal për elektronikën e fuqisë dhe aplikimet e ndërrimit të tensionit të lartë.
- Shkalla Zero MPD (Defekt i Mikro Tubit)Dendësia minimale e defekteve siguron besueshmëri dhe performancë më të lartë, thelbësore për pajisjet elektronike me kërkesa të larta.
- Shkalla e Prodhimit për Prodhim MasivI përshtatshëm për prodhim në shkallë të gjerë të pajisjeve gjysmëpërçuese me performancë të lartë me standarde të rrepta cilësie.
- Shkalla e Dummy-t për Testim dhe KalibrimMundëson optimizimin e procesit, testimin e pajisjeve dhe prototipimin pa përdorur pllaka të nivelit të prodhimit me kosto të lartë.
Në përgjithësi, pllakat SiC 4H/6H-P 6-inç me gradë Zero MPD, gradë prodhimi dhe gradë artificiale ofrojnë avantazhe të rëndësishme për zhvillimin e pajisjeve elektronike me performancë të lartë. Këto pllaka janë veçanërisht të dobishme në aplikimet që kërkojnë funksionim në temperaturë të lartë, dendësi të lartë të fuqisë dhe konvertim efikas të fuqisë. Grada Zero MPD siguron defekte minimale për performancë të besueshme dhe të qëndrueshme të pajisjes, ndërsa pllakat e gradës së prodhimit mbështesin prodhimin në shkallë të gjerë me kontrolle të rrepta të cilësisë. Platat e gradës artificiale ofrojnë një zgjidhje me kosto efektive për optimizimin e procesit dhe kalibrimin e pajisjeve, duke i bërë ato të domosdoshme për prodhimin e gjysmëpërçuesve me saktësi të lartë.
Diagram i detajuar

