Lingotë SiC 2 inç Dia50.8 mm x 10 mmt 4H-N monokristal
Teknologjia e Rritjes së Kristalit SiC
Karakteristikat e SiC e bëjnë të vështirë rritjen e monokristaleve. Kjo kryesisht për shkak të faktit se nuk ka fazë të lëngshme me raport stekiometrik Si: C = 1:1 në presion atmosferik, dhe nuk është e mundur të rritet SiC me metodat më të përparuara të rritjes, siç janë metoda e tërheqjes direkte dhe metoda e tenxheres me rënie, të cilat janë shtyllat kryesore të industrisë së gjysmëpërçuesve. Teorikisht, një tretësirë me një raport stekiometrik Si: C = 1:1 mund të merret vetëm kur presioni është më i madh se 10E5atm dhe temperatura është më e lartë se 3200℃. Aktualisht, metodat kryesore përfshijnë metodën PVT, metodën e fazës së lëngshme dhe metodën e depozitimit kimik në fazën e avullit në temperaturë të lartë.
Napolitanet dhe kristalet SiC që ne ofrojmë rriten kryesisht me anë të transportit fizik të avujve (PVT), dhe më poshtë është një hyrje e shkurtër mbi PVT-në:
Metoda e transportit fizik të avujve (PVT) e ka origjinën nga teknika e sublimimit në fazën e gazit e shpikur nga Lely në vitin 1955, në të cilën pluhuri i SiC vendoset në një tub grafiti dhe nxehet në një temperaturë të lartë për të bërë që pluhuri i SiC të dekompozohet dhe sublimohet, dhe më pas tubi i grafitit ftohet, dhe përbërësit e dekompozuar në fazën e gazit të pluhurit SiC depozitohen dhe kristalizohen si kristale SiC në zonën përreth tubit të grafitit. Edhe pse kjo metodë është e vështirë për të marrë kristale të vetme SiC me madhësi të madhe dhe procesi i depozitimit brenda tubit të grafitit është i vështirë për t'u kontrolluar, ajo ofron ide për studiuesit e mëvonshëm.
YM Tairov et al. në Rusi prezantuan konceptin e kristalit të farës mbi këtë bazë, i cili zgjidhi problemin e formës së pakontrollueshme të kristalit dhe pozicionit të bërthamëzimit të kristaleve SiC. Studiuesit e mëvonshëm vazhduan të përmirësoheshin dhe përfundimisht zhvilluan metodën e transferimit fizik të avullit (PVT) që përdoret industrialisht sot.
Si metoda më e hershme e rritjes së kristaleve SiC, PVT është aktualisht metoda më e zakonshme e rritjes për kristalet SiC. Krahasuar me metodat e tjera, kjo metodë ka kërkesa të ulëta për pajisje rritjeje, proces të thjeshtë rritjeje, kontrollueshmëri të fortë, zhvillim dhe kërkim të plotë, dhe tashmë është industrializuar.
Diagram i detajuar



